樣品表面可以以非常高的能量轉(zhuǎn)變。正氬離子被吸引到負極板。沖擊力足以去除表面的污垢。這些氣態(tài)污染物由真空泵排出。三臺低溫等離子裝置 O2在化學(xué)過程中,三明真空等離子清洗設(shè)備上旋片真空泵原理等離子體與樣品表面的化學(xué)物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。例如,有機污漬可以用 o2 等離子體有效去除。在這種情況下,o2 等離子體與污垢反應(yīng)生成二氧化碳、一氧化碳和水。一般來說,化學(xué)反應(yīng)在去除有機污染物方面表現(xiàn)出色。

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