未清洗的樣品射頻等離子體的接觸角約為40°至68°;經(jīng)過化學(xué)反應(yīng)機(jī)理的樣品的接觸角射頻等離子體清洗后的接觸角約為10°至17°;表面經(jīng)過物理反應(yīng)機(jī)理的射頻等離子體的接觸角洗滌樣品的溫度約為 20° 至 28°。等離子清洗后,山東性能優(yōu)良等離子清洗機(jī)腔體制造廠家可以看到產(chǎn)品的性能有了明顯的提升。優(yōu)點(diǎn):處理速度快、清洗效率高、可靠性高、離子能量控制低、對(duì)基板無損傷。

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