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所謂直接等離子體, 亦稱作反應(yīng)離子蝕刻, 是等離子的一種直接浸蝕形式。它的主要優(yōu)勢(shì)是高的蝕刻率和高的均勻性。直接等離子體具有較低浸蝕, 但工件卻暴露在射線區(qū)。順流等離子是種較弱的工藝, 它適合去除厚為1～5nm的薄層。

在引線鍵合之前，上海rtr型真空等離子體噴涂設(shè)備哪里找氣體等離子體技術(shù)可以用來清洗芯片接點(diǎn)，改善結(jié)合強(qiáng)度及成品率，表3示出一例改善的拉力強(qiáng)度對(duì)比，采用氧氣及氬氣的等離子體清洗工藝，在維持高工序能力指數(shù)Cpk值的同時(shí)能有效改善拉力強(qiáng)度。據(jù)資料介紹，研究等離子體清洗的效能時(shí)，不同公司的不同產(chǎn)品類型在鍵合前采用等離子體清洗，增加鍵合引線拉力強(qiáng)度的幅度大小不等，但對(duì)提高器件的可靠性而言都很有好處。。

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與等離子體清潔器室中 PDMS 空氣污染的成功等離子體耦合相關(guān)的參數(shù)等離子室中的氣體成分可以改變玻璃或 PDMS 表面的化學(xué)鍵。一些雜質(zhì)（即使是非常少量的）會(huì)污染樣品表面。最常見的污染物是來自真空泵或壓縮機(jī)的油分子。由于等離子清潔器腔室中的油分子，可能會(huì)顯示與前一個(gè)相同的等離子，但由于化學(xué)成分的改變，PDMS 的結(jié)合力不是很強(qiáng)。氣體選擇表面狀況取決于所使用的氣體。腔室內(nèi)的大氣壓等離子體幾乎總能滿足實(shí)驗(yàn)需要。

在相同的工藝條件(壓力場(chǎng)、溫度場(chǎng)等)下，使樹脂更充分地浸漬纖維表面，提高了浸漬均勻性，改善了復(fù)合材料液體成型的工藝性能。 3、改善復(fù)合材料表面的涂層性能： 常規(guī)的清洗方法不僅要采用有機(jī)溶劑，而且由于磨削過程中會(huì)產(chǎn)生大量的粉塵污染，對(duì)環(huán)境造成嚴(yán)重影響，危害操作者的人身安全。

等離子表面處理技術(shù)不僅可以清洗外殼在注塑時(shí)留下的油污，更能很大程度的活(化)塑料外殼表面，增強(qiáng)其印刷、涂覆等粘接效(果)，使得外殼上涂層與基體之間很牢固地連接，涂覆效(果)很均勻，外觀更加亮麗，并且耐磨性大大增強(qiáng)，長(zhǎng)時(shí)間使用也不會(huì)出現(xiàn)磨漆現(xiàn)象。

等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。  等離子清洗機(jī)原理：  等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。

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