它的機(jī)理是：在低壓下，上海高附著力樹脂廠家電話由ICP射頻電源向環(huán)狀耦合電磁線圈輸出，通過耦合電弧放電，混合刻蝕汽體通過耦合電弧放電，產(chǎn)生致密的等離子體，在下電極RF作用下，在基片表面躍遷，基片圖形區(qū)域內(nèi)的半導(dǎo)體器件的離子鍵被打斷，與刻蝕汽體產(chǎn)生揮發(fā)性物質(zhì)，將汽體從基片中分離出來，抽離真空管。同樣條件下，氧氣等離子體清理比氮?dú)獾入x子體清理效果更好。
真空離子吸塵器是將兩個(gè)電極真空形成電磁場(chǎng)，高附著力玻璃鋼油漆用真空泵實(shí)現(xiàn)的真空度,氣體越來越薄,分子之間的距離和自由流動(dòng)的分子之間的距離或郭也越來越長(zhǎng),磁場(chǎng)效應(yīng),碰撞和等離子體形成,發(fā)光會(huì)發(fā)生同時(shí),等離子體空間電磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng),和轟擊處理過的表面，去除表面油和表面氧化物，灰化表面有機(jī)物等化學(xué)物質(zhì)，實(shí)現(xiàn)表面處理，清洗和蝕刻，選擇性表面改性通過等離子體處理過程。工作過程:真空等離子吸塵器由反應(yīng)室、電源和真空泵組組成。
現(xiàn)在國(guó)內(nèi)的等離子清洗機(jī)技術(shù)近年來已經(jīng)越來越成熟，高附著力玻璃鋼油漆這也為進(jìn)一步研究開發(fā)新的應(yīng)用提供了足夠的空間，如隨著國(guó)內(nèi)對(duì)等離子清洗機(jī)的需求越來越多，普通的等離子清洗機(jī)已經(jīng)無法滿足生產(chǎn)的需要，所以在參考國(guó)外等離子清洗機(jī)設(shè)備并結(jié)合現(xiàn)代流水線的需要后，所以出現(xiàn)了在線等離子清洗機(jī)。在線等離子清洗機(jī)實(shí)際上是由多臺(tái)獨(dú)立的等離子清洗機(jī)組成，形成自動(dòng)化的運(yùn)行方式，配合流水線的使用，可以進(jìn)行上下游生產(chǎn)流程。
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1、環(huán)保技術(shù)：等離子作用工藝為氣固相干反應(yīng)，消耗水資源，不需添加化學(xué)品 2、效率高：整個(gè)過程可在短時(shí)間內(nèi)完成 3、成本低：裝置簡(jiǎn)單，操作維護(hù)方便，少量氣體代替昂貴的清洗液（等離子表面處理），無廢液處理費(fèi)用 4. 更精細(xì)的處理：滲透到細(xì)孔和凹痕中，即可完成清洗工作。 5、適用性廣：等離子表面處理技術(shù)可以處理大多數(shù)固體。
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