20世紀(jì)90年代初加盟應(yīng)用材料公司負(fù)責(zé)等離子清洗機(jī)等離子體蝕刻部門(mén)研發(fā)工作。他開(kāi)發(fā)或參與開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品在等離子蝕刻領(lǐng)域約占50％。在兩大蝕刻設(shè)備生產(chǎn)商成功的獨(dú)特經(jīng)歷使他對(duì)于不同技術(shù)節(jié)點(diǎn)相應(yīng)的蝕刻機(jī)臺(tái)的更新?lián)Q代如數(shù)家珍。2004年辭去應(yīng)用材料公司副總裁一職回國(guó)，上海真空等離子在上海創(chuàng)辦了中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司。

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由于所涉及的氣體大部分是“高濃度”致密層，難以將大的激發(fā)能連續(xù)傳遞給反應(yīng)體系，而有些化學(xué)反應(yīng)需要非常大的活化能，在常規(guī)技術(shù)條件下反應(yīng)難以實(shí)現(xiàn)。。冷等離子體及其應(yīng)用介紹 冷等離子體技術(shù) 等離子體通常被定義為一種部分電離的氣體，由激發(fā)的原子和分子、正離子和負(fù)離子、自由基、電子、光子等組成。它作為一個(gè)整體表現(xiàn)出電中性。等離子體一般分為平衡等離子體和非平衡等離子體。

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這些活性基團(tuán)相互碰撞。一系列復(fù)雜的物理化學(xué)反應(yīng)。從等離子體中活性基團(tuán)的組成可以看出，上海真空等離子表面處理機(jī)廠家哪家好等離子體內(nèi)部富含電子、離子、自由基、激發(fā)分子等化學(xué)活性極高的粒子。廢氣中的污染物以高能與這些活性基團(tuán)反應(yīng)，最終轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，達(dá)到凈化廢氣的目的。等離子廢氣處理技術(shù)特點(diǎn)低溫等離子廢氣處理技術(shù)應(yīng)用于惡臭氣體處理，處理效果好，運(yùn)行成本低，無(wú)二次污染，運(yùn)行穩(wěn)定，操作管理方便，即用即用等優(yōu)點(diǎn)。