1-2. 芯片等離子清洗工藝及效果 1. 功率:300W 2. 氣體:氧氣/氬氣/氫氣。 3.處理時(shí)間:120S(時(shí)間可再次優(yōu)化) 4.治療前接觸角達(dá)到80度,附著力和表面達(dá)因治療后達(dá)到20度; 5、治療前達(dá)因值:32達(dá)因↓,治療后達(dá)因40↑;PS:射頻功率200W~600W,氣壓 MT~120MT或140,使用AR 等離子體并將樣品放在接地板上。
處理這些部件可能會在皮膚上留下油脂、環(huán)境污染表面,附著力和表面達(dá)因并對數(shù)據(jù)處理產(chǎn)生不利影響??赡馨l(fā)生的第二個(gè)陷阱是在進(jìn)行下一個(gè)過程之前等待很長時(shí)間。所有數(shù)據(jù)對處理的響應(yīng)不同,并且具有不同的處理衰減因子。在處理數(shù)小時(shí)或數(shù)天后,處理過的表面失去一些達(dá)因峰值水平的情況并不少見。在達(dá)因測試的同時(shí),有些材料在很長一段時(shí)間內(nèi)都保持正常水平,但如果材料長期不進(jìn)行處理,它會慢慢恢復(fù),并且表面可能會被灰塵和氧化物污染。開箱后的材料。
首先介紹了達(dá)因特離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu),附著力和行阻力是什么意思主要由電子元件、運(yùn)行控制、電源、源處理、安全保護(hù)等兩部分組成。其次,等離子體處理裝置,它由激發(fā)電極,激發(fā)氣路等組成。 等離子清洗機(jī)釋放出用在這類物質(zhì)表面上的一些化學(xué)鍵,使其形成小分子的產(chǎn)物或被氧化成金屬,等等,這些產(chǎn)物通過抽氣過程被抽走,使材料表面變得凹凸不平,粗糙度增加。
但當(dāng)充入多種氣體時(shí),附著力和表面達(dá)因需要考慮的因素就更多了,比如選擇的氫氣純度越高,產(chǎn)生的氫離子就越多,相應(yīng)的氧化物清洗速度就越快,雖然提高了反應(yīng)效率,但不可忽視的是氫氣作為易燃易爆氣體,具有很高的危險(xiǎn)性。因此,在考慮充填混合氣體時(shí),通常將氫氣與氬氣等其他氣體充填,氫氣比例應(yīng)處于相對安全的位置,才能使效率最大化。對不同物質(zhì)的清洗,需要探索更好的方法和工藝,不斷提高清洗效果。。壓縮氣體是現(xiàn)代工業(yè)不可缺少的一部分。
附著力和行阻力是什么意思
等離子設(shè)備中的分子一般由幾個(gè)原子組成,由于這些原子相互作用,分子能級比原子能級復(fù)雜,而且氣體分子的激發(fā)和電離也不同于氣體原子的激發(fā)和電離。除了電子能量,分子的內(nèi)能還包括振動能和轉(zhuǎn)動能,這些能量也是分離的,能量級圖非常復(fù)雜。
若在真空泵排氣口看到白色煙氣,可能是泵內(nèi)排出的油霧,與離子表面處理機(jī)本身無關(guān);此問題可通過更換適當(dāng)?shù)挠挽F過濾器來解決。 實(shí)際處理過程復(fù)雜多變,非專業(yè)人員請勿輕易操作,更多等離子設(shè)備詳細(xì)信息解決方案歡迎來電咨詢。。
如果您對等離子表面清洗設(shè)備還有其他問題,歡迎隨時(shí)聯(lián)系我們(廣東金萊科技有限公司)
CF4和O2輸入等離子體機(jī)真空腔后,在等離子體發(fā)生器的高頻高壓電場作用下,CF4和O2氣體解離或相互作用,產(chǎn)生含有自由基、原子、分子和電子的等離子體氣體氣氛:O2+CF2→O+OF+CO+COF+F+E+等離子體中的自由基和正離子與孔壁上的高分子有機(jī)物質(zhì)(C、H、O、N)發(fā)生反應(yīng)。
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