如何判斷常壓等離子清洗效能已經(jīng)衰減？常壓plasma等離子清洗機(jī)在經(jīng)過長時(shí)間使用后，有可能因?yàn)殡娮釉?、電極及材料老化導(dǎo)致等離子效能減弱，因此常會(huì)有客戶詢問要如何知道plasma已經(jīng)出了問題?在此筆者分享幾種方式供讀者參考：
(1)光譜量測:如前所述，以光譜儀量測等離子所發(fā)出之光譜，等離子光譜能直接量測出等離子中活性成份，是最直接有效的做法，但等離子光譜價(jià)格昂貴，只有少數(shù)使用者會(huì)考慮使用。
(2)朗繆耳探針(Langmuirprobe):朗繆耳探針可用來測試等離子中電子密度，電子能量等；常用于研究單位，早期多應(yīng)用在真空等離子體密度量測，最近也有應(yīng)用于大氣等離子體的朗繆耳探針上市。跟光譜儀一樣價(jià)格昂貴，知道及使用者不多。
(3)水滴接觸角測試:以水滴接觸角量測儀量測經(jīng)過等離子處理后的試片，藉由標(biāo)準(zhǔn)試片測試來判斷電等離子效能是否正常，此方法是最常用的方法，但需注意標(biāo)準(zhǔn)試片表面特性是否一致，否則容易誤判。
(4)達(dá)因筆測試:以達(dá)因筆測試被處理試片表面，當(dāng)試劑攤平時(shí)表示被處理物表面能比試劑大，反之則相反。此方法跟水滴接觸相似，也是使用最多的方法之一，此方法可以直接量測被處理物表面能；若要量測等離子效能是否衰減，一樣要以標(biāo)準(zhǔn)試片來測試較具參考價(jià)值，但需注意標(biāo)準(zhǔn)試片表面特性是否一致及達(dá)因筆保存方式是否正確。
(5)光阻蝕刻率量測:以特定厚度的光阻進(jìn)行等離子蝕刻率量測，也可以測出等離子效能是否衰減，此方法概念相當(dāng)好，但由于大氣電漿并不是整面均勻，光阻蝕刻后如何從不同的圖案去判斷蝕刻率快與慢可能需要事前做好研究。另外，當(dāng)噴頭開口電性或孔徑發(fā)生變化時(shí)也會(huì)影響蝕刻出來的圖案，因此最好能更換噴頭再測試，交叉比對(duì)測試結(jié)果。
(6)由常壓等離子清洗機(jī)輸出功率、電壓及電流來判斷:等離子可以看成是一種電子元件，當(dāng)元件老化時(shí)，功率、電壓及電流的關(guān)係也會(huì)發(fā)生變化，利用監(jiān)控該特性值的改變也可用來判斷電漿狀態(tài)是否改變，此方法常被用來判斷電漿是否失效；由于大氣等離子清洗機(jī)電壓、電流及功率值浮動(dòng)較大，要用來判斷大氣等離子效能是否衰減恐不夠靈敏。如何判斷常壓等離子清洗效能已經(jīng)衰減？00224406