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一般而言，深圳高質(zhì)量等離子清洗機(jī)腔體現(xiàn)貨鋁互連線表面覆蓋著一層氧化物薄膜Al2O3 ，其與鋁本體之間具有很強(qiáng)的結(jié)合鍵能，所以鋁中電遷移主要沿晶界(grain boundary)進(jìn)行，當(dāng)線寬變小呈現(xiàn)竹節(jié)狀結(jié)構(gòu)后，晶格(lattice)遷移成為主要機(jī)理。而Cu表面的氧化物CuO與Cu本體之間的結(jié)合相對(duì)較差，該界面給銅離子的遷移提供了高流動(dòng)性通道。
有人或許會(huì)問：溫度達(dá)幾千度怎樣還是低溫。要知道在這時(shí)，深圳高質(zhì)量等離子清洗機(jī)腔體規(guī)格尺寸齊全粒子的溫度與用溫度計(jì)測(cè)出的溫度是不同的。因?yàn)檫@時(shí)的氣體密度很低，所以用溫度計(jì)測(cè)得的溫度與外界環(huán)境的溫度相差無幾，所以實(shí)踐上是低溫等離子體。當(dāng)氣體處于高壓狀況并從外界取得很多能量時(shí)，粒子之間的相互碰撞頻率大大增加，各種微粒的溫度根本相同，即Te根本與Ti及Tn相同。
涂層的熔合區(qū)和中部區(qū)域TiC顆粒形狀大多是等軸狀顆粒而涂層的表層區(qū)域部分顆粒是樹枝晶、這是由于熔池中熱量傳輸和Ti、C濃度局部不均勻容易在TiC生長(zhǎng)的前沿形成成分過冷而且TiC原位合成反應(yīng)的放熱效應(yīng)使得Ti、C原子向其前端迅速擴(kuò)散并形核生長(zhǎng)，深圳高質(zhì)量等離子清洗機(jī)腔體現(xiàn)貨形成較多呈樹枝狀的TiC顆粒。
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