由于獲得高能量并與周圍的分子和原子碰撞,等離子精魄兌換碼電子在分子和原子中被激發(fā),處于激發(fā)態(tài)或離子態(tài)。這時(shí),問題是等離子體狀態(tài)。等離子體中除了氣體分子、離子和電子外,還有被能量激發(fā)的電中性原子或原子團(tuán)(也稱為自由基),以及等離子體發(fā)出的光。它在能量等離子體與物質(zhì)表面的相互作用中起重要作用。氮?dú)庾鳛槎栊詺怏w,主要用作等離子清洗過程中的非反應(yīng)性氣體。氮等離子處理可以提高材料的硬度和耐磨性。

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