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等離子清洗機(jī)的原理是利用等離子體的特點(diǎn),大量活性粒子,如electroslurry激動(dòng)分子,自由基在樣品表面使用,不僅刪除原來(lái)的污垢和灰塵,和腐蝕的樣品,使樣品表面厚,形成許多小抑郁,增加樣本比例。提高固體表面的潤(rùn)濕性。增加微電子能量的一種更簡(jiǎn)單的方法是增加平行板上的直流電壓。微電子被帶正電的電極吸引而加速。在加速過(guò)程中,微電子可以積累能量。

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