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兩種反應(yīng)機理對表面形貌的影響有顯著差異,物理反應(yīng)可使表面在分子水平上趨于穩(wěn)定。粗糙和貫穿,從而改變表面粘結(jié)性能。此外,等離子清洗表面上的反應(yīng)機理,物理和化學(xué)反應(yīng)起著重要的作用,是反應(yīng)離子刻蝕、離子束刻蝕反應(yīng),兩種清潔可以相互促進,通過離子轟擊清洗表面的化學(xué)鍵弱化形式原子狀態(tài),易吸收反應(yīng)物,離子碰撞即清洗熱,使其更容易反應(yīng),具有良好的選擇性、清洗率、均勻性和指向性。。

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