2、低溫等離子發(fā)生器原理 等離子發(fā)生器是通過低壓放電（輝光、電暈、高頻、微波等）產(chǎn)生的電離氣體。在電場的作用下，高能束表面改性技術(shù)設(shè)備氣體中的自由電子從電場中獲得能量，成為高能電子。這些高能電子與氣體中的分子和原子發(fā)生碰撞。如果電子能量大于分子或原子的激發(fā)能，則會產(chǎn)生激發(fā)分子或原子的自由基。不同能量的離子和來自恒星的輻射，冷等離子體中的活性粒子（可以是化學(xué)活性氣體、稀有氣體或元素金屬氣體）的能量一般為CC或其他C鍵。
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中性粒子和離子的溫度為102K-103K，高能束表面改性考點(diǎn)對應(yīng)的電子能量溫度高達(dá)105K，稱為“非平衡等離子體”或“冷等離子體”，屬電中性(準(zhǔn)中性)。這種氣體產(chǎn)生的自由基和離子具有很高的活性，其能量足以打破幾乎所有的化學(xué)鍵，并在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)。等離子體中粒子的能量通常為幾到幾十電子伏，大于聚合物材料的鍵能(幾到幾十電子伏)。它可以完全打破有機(jī)大分子的化學(xué)鍵，形成新的化學(xué)鍵，但遠(yuǎn)低于高能放射性射線。
北京告訴你等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積的幾個實(shí)驗(yàn)。1.微波等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積金剛石薄膜實(shí)驗(yàn)化學(xué)氣相沉積(CVD)是幾種氣體（大多數(shù)情況下是兩種）在高溫下發(fā)生熱化學(xué)反應(yīng)形成固體的反應(yīng)。由于等離子體具有高能量密度和高濃度的活性離子，高能束表面改性技術(shù)設(shè)備引起常規(guī)化學(xué)反應(yīng)無法或難以實(shí)現(xiàn)的物理化學(xué)變化。等離子體CVD通過能量激發(fā)將工質(zhì)激發(fā)到等離子體狀態(tài)，引發(fā)化學(xué)反應(yīng)形成固體。
然而，高能束表面改性技術(shù)設(shè)備電離的氣體不會不一定非得是等離子體，但等離子體和普通氣體都具有滿足氣態(tài)方程等共同特性，但特性完全不同。比氬等離子體和氫等離子體。。等離子清洗機(jī)的種類很多，通常分為
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