2、低溫等離子發(fā)生器原理 等離子發(fā)生器是通過(guò)低壓放電(輝光、電暈、高頻、微波等)產(chǎn)生的電離氣體。在電場(chǎng)的作用下,高能束表面改性技術(shù)設(shè)備氣體中的自由電子從電場(chǎng)中獲得能量,成為高能電子。這些高能電子與氣體中的分子和原子發(fā)生碰撞。如果電子能量大于分子或原子的激發(fā)能,則會(huì)產(chǎn)生激發(fā)分子或原子的自由基。不同能量的離子和來(lái)自恒星的輻射,冷等離子體中的活性粒子(可以是化學(xué)活性氣體、稀有氣體或元素金屬氣體)的能量一般為CC或其他C鍵。
中性粒子和離子的溫度為102K-103K,高能束表面改性考點(diǎn)對(duì)應(yīng)的電子能量溫度高達(dá)105K,稱為“非平衡等離子體”或“冷等離子體”,屬電中性(準(zhǔn)中性)。這種氣體產(chǎn)生的自由基和離子具有很高的活性,其能量足以打破幾乎所有的化學(xué)鍵,并在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)。等離子體中粒子的能量通常為幾到幾十電子伏,大于聚合物材料的鍵能(幾到幾十電子伏)。它可以完全打破有機(jī)大分子的化學(xué)鍵,形成新的化學(xué)鍵,但遠(yuǎn)低于高能放射性射線。
北京告訴你等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積的幾個(gè)實(shí)驗(yàn)。1.微波等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積金剛石薄膜實(shí)驗(yàn)化學(xué)氣相沉積(CVD)是幾種氣體(大多數(shù)情況下是兩種)在高溫下發(fā)生熱化學(xué)反應(yīng)形成固體的反應(yīng)。由于等離子體具有高能量密度和高濃度的活性離子,高能束表面改性技術(shù)設(shè)備引起常規(guī)化學(xué)反應(yīng)無(wú)法或難以實(shí)現(xiàn)的物理化學(xué)變化。等離子體CVD通過(guò)能量激發(fā)將工質(zhì)激發(fā)到等離子體狀態(tài),引發(fā)化學(xué)反應(yīng)形成固體。
然而,高能束表面改性技術(shù)設(shè)備電離的氣體不會(huì)不一定非得是等離子體,但等離子體和普通氣體都具有滿足氣態(tài)方程等共同特性,但特性完全不同。比氬等離子體和氫等離子體。。等離子清洗機(jī)的種類(lèi)很多,通常分為