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所謂直接等離子體, 亦稱作反應(yīng)離子蝕刻, 是等離子的一種直接浸蝕形式。它的主要優(yōu)勢是高的蝕刻率和高的均勻性。直接等離子體具有較低浸蝕, 但工件卻暴露在射線區(qū)。順流等離子是種較弱的工藝, 它適合去除厚為1~5nm的薄層。
在引線鍵合之前,上海rtr型真空等離子體噴涂設(shè)備哪里找氣體等離子體技術(shù)可以用來清洗芯片接點,改善結(jié)合強度及成品率,表3示出一例改善的拉力強度對比,采用氧氣及氬氣的等離子體清洗工藝,在維持高工序能力指數(shù)Cpk值的同時能有效改善拉力強度。據(jù)資料介紹,研究等離子體清洗的效能時,不同公司的不同產(chǎn)品類型在鍵合前采用等離子體清洗,增加鍵合引線拉力強度的幅度大小不等,但對提高器件的可靠性而言都很有好處。。
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與等離子體清潔器室中 PDMS 空氣污染的成功等離子體耦合相關(guān)的參數(shù)等離子室中的氣體成分可以改變玻璃或 PDMS 表面的化學鍵。一些雜質(zhì)(即使是非常少量的)會污染樣品表面。最常見的污染物是來自真空泵或壓縮機的油分子。由于等離子清潔器腔室中的油分子,可能會顯示與前一個相同的等離子,但由于化學成分的改變,PDMS 的結(jié)合力不是很強。氣體選擇表面狀況取決于所使用的氣體。腔室內(nèi)的大氣壓等離子體幾乎總能滿足實驗需要。
在相同的工藝條件(壓力場、溫度場等)下,使樹脂更充分地浸漬纖維表面,提高了浸漬均勻性,改善了復合材料液體成型的工藝性能。 3、改善復合材料表面的涂層性能: 常規(guī)的清洗方法不僅要采用有機溶劑,而且由于磨削過程中會產(chǎn)生大量的粉塵污染,對環(huán)境造成嚴重影響,危害操作者的人身安全。
等離子表面處理技術(shù)不僅可以清洗外殼在注塑時留下的油污,更能很大程度的活(化)塑料外殼表面,增強其印刷、涂覆等粘接效(果),使得外殼上涂層與基體之間很牢固地連接,涂覆效(果)很均勻,外觀更加亮麗,并且耐磨性大大增強,長時間使用也不會出現(xiàn)磨漆現(xiàn)象。
等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。 等離子清洗機原理: 等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。
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