根據(jù)氣體的性質(zhì)，氬氣等離子體表面活化等離子體可分為以下兩種類(lèi)型:氣態(tài)等離子體和非氣態(tài)等離子體，氣態(tài)等離子體根據(jù)其所使用氣體的化學(xué)性質(zhì)不同又可分為惰性氣體和活性氣體。惰性等離子體如氬氣(Ar)、氮?dú)?N2)、氟化氮(NF3)、四氟碳(CF4)、空氣等，氣態(tài)等離子體如氧氣(O2)、氫氣(H2)等。在清洗過(guò)程中，不同類(lèi)型的氣體反應(yīng)機(jī)理不同，活性等離子體對(duì)化學(xué)反應(yīng)有很大的影響。由于氣體的性質(zhì)不同，用于清洗的污染物必須有不同的選擇。

等離子體處理后的表面具有更高的表面能，氬氣等離子體表面活化能有效地與塑料密封材料結(jié)合，減少塑料密封過(guò)程中的分離和針孔現(xiàn)象。氬氣可以在等離子體環(huán)境中產(chǎn)生氬氣離子，并利用在材料表面產(chǎn)生的自偏置進(jìn)行濺射，消除(去除)表面對(duì)外來(lái)分子的吸附并能有效去除表面的金屬氧化物——在微電子過(guò)程中，線前等離子體處理就是這種工藝的典型代表。

一般處理主要有兩個(gè)方面，氬氣等離子去膠設(shè)備一是除去磷化面(機(jī))層，二是除去氧化物。借助等離子清洗機(jī)，可被(機(jī))表面離子轟擊污染;在真空中，污染物在高效能粒子的影響下部分蒸發(fā)，污染物由于受到高效能粒子的影響質(zhì)量被吸走了。金屬氧化物與處理過(guò)的氣體(通常是氬氣和氫氣)發(fā)生離子反應(yīng)。有時(shí)使用兩步處理。首先在氧氣中氧化5分鐘，然后用氫氣和氬氣的混合物除去。你也可以同時(shí)使用幾種氣體。

氣體的流動(dòng)方向會(huì)形成氣場(chǎng)，氬氣等離子去膠設(shè)備影響等離子體的運(yùn)動(dòng)、反應(yīng)和均勻性。產(chǎn)品植入后，會(huì)影響電場(chǎng)和氣場(chǎng)特性，導(dǎo)致能量分布不均，局部等離子體密度過(guò)大而燒板。除上述因素外，已證明等離子清洗機(jī)的處理時(shí)間、工頻、車(chē)型等也對(duì)產(chǎn)品的處理效率和變色有影響。。手表配件采用精密零件等離子處理設(shè)備，表面清洗處理有兩根氣管，容易被氧化的材質(zhì)，可以對(duì)接氮?dú)?、氬氣等惰性氣體。

氬氣等離子體表面活化

由于等離子體清洗是在高真空條件下進(jìn)行的，等離子體中各種活性離子自由路徑長(zhǎng)，穿透性和滲透性強(qiáng)，可以用細(xì)管和盲孔等復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行處理。另一類(lèi)等離子體表面處理機(jī)是氬氣、氦氣、氮?dú)獾确欠磻?yīng)氣體，氮?dú)獾入x子體處理可以提高材料的硬度和耐磨性。

Z廣泛應(yīng)用于無(wú)機(jī)基板的表面粗化工藝。如玻璃基板外觀處理、金屬基板外觀處理等。3活性氣體輔助等離子清洗機(jī)的活化和清洗過(guò)程中，過(guò)程氣體往往是混合的，以達(dá)到更好的作用。由于氬氣分子尺寸較大，經(jīng)比較電離后產(chǎn)生的顆粒，一般在表面清洗和活化過(guò)程中，氬氣與活性氣體混合。

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由于PTFE的疏水性(較低的表面能)，其表面很難形成金屬化的孔。用于制造柔性印制板的聚酰亞胺等材料的表面狀態(tài)也是如此。面對(duì)這一發(fā)展趨勢(shì)，等離子體設(shè)備加工技術(shù)將顯示出其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。使用等離子設(shè)備，一方面可以擴(kuò)大企業(yè)的產(chǎn)品市場(chǎng)，另一方面也可以提高企業(yè)的產(chǎn)品檔次，使企業(yè)在不斷變化的市場(chǎng)需求中，擁有成功的有力工具。

氬氣等離子去膠設(shè)備

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等離子體表面清洗設(shè)備的應(yīng)用使材料暴露在非粘性氣體的等離子體中，氬氣等離子體表面活化用等離子體轟擊材料表面，使材料表面結(jié)構(gòu)發(fā)生許多變化，實(shí)現(xiàn)了材料的活化改性。等離子體表面清洗機(jī)用于材料表面改性的功能層非常薄(幾到幾百納米)，不影響材料的整體宏觀性能，屬于非破壞性過(guò)程。等離子體表面改性還可以利用等離子體聚合或接枝聚合功能在材料表面產(chǎn)生超薄、均勻、連續(xù)無(wú)孔的高功能，實(shí)現(xiàn)疏水、耐磨、裝飾等功能。