同時(shí)，怎樣增加自噴漆附著力C2H6與高能電子的非彈性碰撞易導(dǎo)致其C-C鍵斷裂，形成介觀堿基，為CH4的形成奠定了基礎(chǔ)。因此，C2H6的轉(zhuǎn)化率和C2H2、C2H4和CH4的產(chǎn)率隨H2濃度的增加而顯著增加，與純C2H6在等離子條件下脫氫相比，C2H6在等離子條件下脫氫相比，C2H6的轉(zhuǎn)化率和C2H2、C2H4和CH4的產(chǎn)率顯著增加。在C2H6中加入H2的力的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它抑制了積碳的形成。

等離子處理系統(tǒng)通過在密閉容器中設(shè)置兩個(gè)電極產(chǎn)生電場(chǎng)來產(chǎn)生等離子，增加自噴漆附著力并使用真空泵達(dá)到一定的真空度。稀有分子間距和分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離正在增加。在電場(chǎng)的作用下，它們碰撞形成等離子體。這些離子非?；钴S，它們的能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵。表面引起化學(xué)反應(yīng)，不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性質(zhì)。例如，氧等離子體具有很強(qiáng)的氧化性，它會(huì)氧化光并反應(yīng)產(chǎn)生氣體，從而實(shí)現(xiàn)清潔效果。

H2對(duì)等離子體作用下甲烷轉(zhuǎn)化反應(yīng)的影響:H2的加入對(duì)常壓直流放電等離子體甲烷轉(zhuǎn)化過程中甲烷轉(zhuǎn)化率、C2烴選擇性和C2烴產(chǎn)率均有影響。隨著H2添加量的增加，增加自噴漆附著力XCH4、SC2和YC2均呈上升趨勢(shì)。當(dāng)氫氣加入量為80%時(shí)，XCH4為55.1%，YC2為42.4%，SC2為82.7%。

當(dāng)溫度低于0℃時(shí),水需要在表單上的固體冰;加熱后,當(dāng)溫度在0℃℃之間,它將改變從固體形狀的冰成液態(tài)的水;當(dāng)溫度繼續(xù)上升高于c,液態(tài)的水變成蒸汽。當(dāng)溫度達(dá)到數(shù)萬度時(shí)，增加自噴漆附著力它會(huì)變成含有各種粒子的等離子體，包括原子、離子和電子。在詳細(xì)的等離子過程中，大氣等離子清洗機(jī)是將無水無油的壓縮空氣，即CDA，通過噴槍電離電極而構(gòu)成等離子體。

增加自噴漆附著力

可實(shí)現(xiàn)整體、局部和復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗，具有環(huán)保、安全、易控制等優(yōu)點(diǎn)。因此，濕式清洗技術(shù)在許多方面逐漸被取代，特別是在精密零件清洗、半導(dǎo)體新材料研究和集成電路器件制造等方面。。選擇氧氣、氫氣、氮?dú)庾鳛檎婵盏入x子體處理機(jī)氣體時(shí)的注意事項(xiàng)；真空等離子體處理器表面處理技術(shù)處理的材料很多，它們都有不同的處理要求和用途，此時(shí)我們選擇的工藝氣體也會(huì)有所不同。

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低電子溫度可以降低解離速率，從而降低晶圓表面轟擊能量、聚合物生產(chǎn)和真空紫外發(fā)射。低電子溫度可以使離子能量峰的寬度變窄，使精確控制能量打擊成為可能，從而提高選擇性。此外，在等離子體清洗機(jī)的等離子體關(guān)閉時(shí)間內(nèi)，新鮮氣體可以改變等離子體的均勻性。另外，同步?jīng)_孔可以通過off比調(diào)節(jié)活性基通量和子通量，從而影響蝕刻選擇性比，影響程度與特定的蝕刻氣體有很強(qiáng)的相關(guān)性。

基于等離子體的可控性，MEF大氣壓等離子體清洗機(jī)系列（）專門設(shè)計(jì)用于處理不同寬度的物體。用于精密加工的單噴嘴，用于特殊形狀物體的多噴嘴，以及用于更廣泛應(yīng)用的擴(kuò)展噴嘴--該技術(shù)幾乎可以應(yīng)用于整個(gè)行業(yè)。

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