但193nm光刻膠的化學(xué)成分與248nm光刻膠有很大不同，電池極片等離子體表面清洗機(jī)器在惡劣的等離子環(huán)境下其抗蝕刻性較差。減少需要用于保護(hù)曝光工藝窗口的 193nm 光刻膠的厚度。在這種情況下，控制柵極圖案尺寸如特征尺寸、線寬均勻性、側(cè)壁角度、側(cè)壁形狀（凹痕、突起）、線寬粗糙度都是需要嚴(yán)格控制的工藝參數(shù)。..傳統(tǒng)多晶硅柵極等離子表面處理機(jī)的蝕刻所采用的無機(jī)硬掩模（通常為氮化硅）蝕刻方式，很容易出現(xiàn)柵極側(cè)壁粗糙的問題。
& EMSP; & EMSP; 07 發(fā)動(dòng)機(jī)油封片 & EMSP; & EMSP; 發(fā)動(dòng)機(jī)曲軸油封作為防止發(fā)動(dòng)機(jī)漏油的重要部件，電池極片活化機(jī)其重要性越來越受到發(fā)動(dòng)機(jī)制造商的重視。聚四氟乙烯具有耐高溫、耐腐蝕、不粘連、自潤滑等優(yōu)良性能。介電性能和低摩擦系數(shù)是目前制作油封的主要材料之一。然而，未經(jīng)處理的聚四氟乙烯表面活性低，很難與金屬結(jié)合。
解壓器的輸出接口推薦使用3/8標(biāo)準(zhǔn)接口。這對(duì)于用快速螺紋接頭或雙套圈接頭代替原來的塔式接頭很有用，電池極片等離子體表面清洗機(jī)器以確保工藝氣體輸出氣體管道之間的氣密性。等離子清潔器氣體接口。如果使用的工業(yè)氣體是氬氣，建議使用氧氣減壓閥。主要原因是氬氣專用減壓閥的輸出壓力一般為0.15MPa。如果將一種氣體供應(yīng)給多臺(tái)等離子清洗機(jī)，則輸出壓力將無法滿足應(yīng)用要求，設(shè)備很容易發(fā)出警報(bào)。壓力。
隨著氣體從外界吸收更多的能量，電池極片等離子體表面清洗機(jī)器分子的熱運(yùn)動(dòng)變得更強(qiáng)，分子的解離成為原子，原子中的電子獲得足夠的能量與電子分離，成為自由電子。氣相電離涉及氣相電離后的大量電子、離子和一些中性粒子（原子和分子）。在這種情況下，電子和離子具有大致相等的電荷，并且在宏觀上或平均而言是電中性的。以水為例。在低于 0°C 的溫度下，水變成固體或“冰”。在 0°C 和 100°C 之間的溫度下，水變成液體，或“水”。
電池極片活化機(jī)
要求高可靠性和高生產(chǎn)效率。以及在線表面處理工藝的處理效果。等離子工藝提供的超精細(xì)大氣等離子清洗和等離子活化為電子行業(yè)提供了有效的解決方案。噴涂機(jī)前對(duì)塑料觀察窗部分進(jìn)行等離子處理，然后用防靜電和防刮花噴劑進(jìn)行噴涂。等離子清洗技術(shù)的使用增加了材料的表面能，使鍍層的分布更加均勻，等離子清洗機(jī)不僅創(chuàng)造了無可挑剔的產(chǎn)品外觀，而且降低了制造過程中的廢品率。大大減少。
電池極片等離子體表面清洗機(jī)器
