由于等離子體的方向性差,載玻片等離子表面清洗它可以深入物體的毛孔和凹陷處進(jìn)行清潔,因此不需要過多考慮被清潔物體的形狀。而這些難清洗部件的清洗效果與氟利昂清洗效果相當(dāng)或更好;五、采用等離子清洗,清洗效率可大大提高。整個清洗過程可以在幾分鐘內(nèi)完成,因此具有收率高的特點;六、等離子體清洗需要控制真空度Pa左右,這種清洗條件容易實現(xiàn)。

載玻片等離子表面清洗

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整個清洗過程大致如下:將等離子體清洗后的產(chǎn)品送入真空固定,載玻片等離子表面清洗啟動運(yùn)行裝置,啟動排氣,使真空室的真空度達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)真空度10Pa左右。一般排氣時間在幾分鐘左右;將等離子清洗氣體引入真空室,保持室內(nèi)壓力穩(wěn)定。

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等離子清洗機(jī)采用高效專用電極,是生產(chǎn)均勻等離子的保證。等離子體清洗機(jī)特殊的電極和托盤結(jié)構(gòu),可以充分利用真空室內(nèi)部的空間,使加工效率提高,同時也保證了樣品能得到最有效的清洗。等離子處理器專用過載、短路和過熱保護(hù)電路,可確保射頻電源的穩(wěn)定和安全。等離子清洗機(jī)整體模塊化設(shè)計,安裝維護(hù)非常簡單。對于形狀復(fù)雜的樣品,等離子體清洗機(jī)可以找到合適的溶液。等離子清洗機(jī)還可以實現(xiàn)對固體樣品內(nèi)部位置進(jìn)行清洗。。

與其他廢氣處理方法相比,等離子體技術(shù)具有能耗低、使用方便、無二次污染等特點,是目前廢氣污染管理中一種有前途、富有成效的技術(shù)方法。傳統(tǒng)的針對VOC和異味氣體(如吸收法、熱氧化法、膜分離法、生物反應(yīng)法等)和光化學(xué)催化法由于氣體濃度低,供動力不高,使用不同的設(shè)備處理廢氣,通過比較冷等離子體攻擊不同放電方式對等離子體功率的消除,發(fā)現(xiàn)介質(zhì)阻擋放電等離子體的去除率相對較高,這已成為近年來的研究熱點。

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載玻片等離子表面清洗器

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