因此,特氟龍等離子體表面處理設(shè)備最初,到達絕緣體表面的電子數(shù)大于離子數(shù)。除部分復(fù)合外,電子過剩,絕緣體表面呈負電位。反對等離子。這種負電位排斥電子并吸引正離子。這個電勢也隨之變化,當(dāng)絕緣體表面的負電勢達到一定值時,離子和電子的電流變相等,成為絕緣體表面的電勢。工件趨于穩(wěn)定,這意味著放置在等離子體中的絕緣體稱為浮動基板,其表面形成的穩(wěn)定電位稱為浮動電位。
例如,特氟龍等離子體表面處理設(shè)備可用作電子束提取窗、高頻大功率電子器件、高靈敏度彈性表面波濾波器、切削工具等。
在 250-800 NM 波長范圍內(nèi),特氟龍等離子刻蝕機甲烷轉(zhuǎn)化過程中產(chǎn)生的主要活性物種。等離子體的作用是 CH(430.1 至438.7 NM)、C(563.2 NM、589.1 NM)、C2(512.9 NM、516.5 NM)和 H(434.1 NM、486.1 NM 和 656.3 NM)。在等離子體放電區(qū),首先產(chǎn)生高能電子。
此外,特氟龍等離子刻蝕機長期使用時,表面易氧化,電阻增大,電極層間溫差增大,放電變得不穩(wěn)定。電極的不良放電也可能是由于電極表面的污染。主要原因是,根據(jù)被加工材料的不同,真空泵不會噴出少量材料而粘附在電極表面上。如果不能定期清除,隨著時間的推移,材料會更容易堆積。被污染物堵塞。如果板體絕緣層的表面形狀被污垢堵塞,就相當(dāng)于增加了電極容量,增加了放電功率。如果電極表面被粉末或碳等污垢堵塞,電極容量會降低。
特氟龍等離子刻蝕機
等離子體振蕩是指等離子體中的電子由于慣性和離子靜電而發(fā)生的簡單振動。離子,也稱為等離子體,被認為是物質(zhì)或超氣體的第四種形式。也就是說,它由電離的氣體、電子和非電離的中性粒子組成,整體呈電中性。通過等離子體表面處理產(chǎn)生的等離子體不必完全由離子組成。等離子表面處理器中的等離子需要不凝聚,組成等離子的粒子非常自由,粒子之間的相互作用很弱。凝聚態(tài)是由大量粒子組成的聚集態(tài),液體和固體都是很常見的凝聚態(tài)。
特氟龍等離子刻蝕機