（1）化學(xué)反應(yīng)在化學(xué)反應(yīng)里常用的氣體有氫氣（H2）、氧氣（02）、甲烷（CF4）等，涂料的附著力機(jī)理這些氣體在電漿內(nèi)反應(yīng)成高活性的自由基，其方程式為：這些自由基會(huì)進(jìn)一步與材料表面作反應(yīng)。其反應(yīng)機(jī)理主要是利用等離子體里的自由基來與材料表面做化學(xué)反應(yīng)，在壓力較高時(shí)，對(duì)自由基的產(chǎn)生較有利，所以若要以化學(xué)反應(yīng)為主時(shí)，就必須控制較高的壓力來近進(jìn)行反應(yīng)。

真空等離子體清洗過程中，涂料的附著力機(jī)理主要依靠活性粒子的“粘附”來去除物體表面污漬。從反應(yīng)機(jī)理看，等離子體清洗通常包括以下過程：無機(jī)氣體被激發(fā)成等離子體態(tài)；氣相物質(zhì)吸附在固體表面；吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；分子分析產(chǎn)物形成氣相；反應(yīng)殘留物與表層分離。

不同等離子體的自偏壓不同，聚甲醛塑料上涂料的附著力超聲等離子體的自偏壓在0V左右，射頻等離子體的自偏壓在250V左右，微波等離子體的自偏壓很低，只有幾十伏，三種等離子體的機(jī)理不同。超聲等離子體發(fā)射射頻等離子體的反應(yīng)是物理反應(yīng)，射頻等離子體的反應(yīng)是物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)，微波等離子體的反應(yīng)是化學(xué)反應(yīng)。超聲等離子體清洗對(duì)被清洗表面的影響最大，因此在實(shí)際半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用中多采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。

當(dāng)然等離子清洗機(jī)一方面利用其高能粒子的物理作用清洗容易氧化或還原的物體，聚甲醛塑料上涂料的附著力Ar+轟擊污垢形成揮發(fā)性污垢，用真空泵抽走，避免了表面物質(zhì)的反應(yīng)；另一方面，亞穩(wěn)原子容易利用氬形成，然后與氧和氫分子碰撞時(shí)發(fā)生電荷轉(zhuǎn)換和結(jié)合，形成氧氫活性原子作用于物體表面氫氣屬于不穩(wěn)定氣體，主要用于還原，清洗掉金屬表面的氧化物。

聚甲醛塑料上涂料的附著力

在活性CO2催化CH4氧化制C2烴中，La203/ZnO對(duì)C2烴的選擇性可達(dá)97%（在850℃下甲烷轉(zhuǎn)化率為2.1%）。馬拉菲等人。研究表明，在電暈放電條件下，LA203基催化劑具有較高的CH4轉(zhuǎn)化率（27.4%）和C2烴產(chǎn)率（10%）。因此，研究了La、Ce、Pr、Sm、Nd負(fù)載的稀土氧化物催化劑在等離子體作用下對(duì)CO2氧化CH4制C2烴的催化作用。

應(yīng)用低壓等離子機(jī)航天等離子技術(shù)清洗皮套電連接器；航空航天制造業(yè)屬于高技術(shù)領(lǐng)域，對(duì)許多產(chǎn)品的性能和質(zhì)量都有很高的要求。航空航天制造業(yè)的皮口和電連接器就是其中的兩種，需要通過低壓等離子機(jī)進(jìn)行表面處理，以提高產(chǎn)品的性能，滿足用戶的需求。我們來看看航天等離子體技術(shù)的這方面。

在這種情況下，只使用一臺(tái)抽真空泵會(huì)減慢抽真空速度，增加抽氣時(shí)間，影響處理效率。因此，為了提高真空泵的轉(zhuǎn)速，一般都配備大腔真空等離子表面處理機(jī)真空泵。使用兩個(gè)或多個(gè)真空泵組成一系列真空泵。這樣可以大大提高真空泵的轉(zhuǎn)速。真空表面等離子處理設(shè)備中使用的真空泵組件一般分為三類。一種是旋片真空泵和羅茨泵油泵組，另一種是干式真空泵+羅茨泵干泵泵組。它也是分子泵和分子泵的機(jī)械泵組。

等離子體放電過程中發(fā)生臭氧的基本原理是含氧氣體在放電反響器內(nèi)所形成的低溫等離子體氛圍中，一定能量的自由電子將氧分子分化成氧原子，之后通過三體碰撞反響形成臭氧分子，一起也發(fā)生著臭氧的分化反響。臭氧，化學(xué)分子式為03，又稱三原子氧、超氧，因其相似魚腥味的臭味而得名，在常溫下可以自行還原為氧氣。比重比氧大，易溶于水，易分化。

聚甲醛塑料上涂料的附著力