從給人類帶來無限清潔能源的可控聚變,不同材質的附著力大小到芯片制造行業(yè)必不可少的彩色熒光燈和刻蝕機……等離子技術經過幾十年的發(fā)展,其神奇的“魔力”更是令人驚嘆。晴天霹靂,但我國仍缺乏等離子行業(yè)的應用。等離子體是物質的第四種狀態(tài),不同于固體、液體和氣體。物質由分子組成,分子由原子組成,原子由帶正電的原子核及其周圍帶負電的電子組成。當施加高能量時,電子離開原子核,物質變成帶正電的原子核和帶負電的電子等離子體。
2.然后將用于等離子體清洗的氣體引入真空室內,不同材質的附著力大小保持室內壓力穩(wěn)定。3.在真空室內電極與接地裝置之間施加高頻電壓,氣體被擊穿并通過輝光放電產生等離子體,真空室內產生的等離子體覆蓋處理后的工件,開始清洗作業(yè)。一般清洗處理持續(xù)數十秒至數十分鐘,視需要處理的材料不同而定。4.清洗完畢,切斷電源,通過真空泵抽走氣體和氣化的污物,清洗結束。
等離子清洗機可用于清洗、刻蝕、活化和表面準備等,可選擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器,以適應不同的清洗效率和清洗效果需要。等離子體和固體、液體或氣體一樣,是物質的一種狀態(tài),也叫做物質的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括:離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。
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不同材質的附著力大小
清洗過程中,在真空泵控制真空室的真空環(huán)境時,氣體的流量決定了發(fā)光色度:如果色度較重,說明真空度低,氣體流量較大;而偏白時,則是真空度過高,氣體流量較小;具體需要根據所需的處理效果,來確定真空泵要實現(xiàn)的真空度。
除了氣體分子、離子和電子之外,等離子體還包含被能量激發(fā)態(tài)激發(fā)的帶中性原子或原子團,這些能量激發(fā)態(tài)是自由基和從等離子體發(fā)射的光。等離子體在等離子體與物體表面的相互作用中起著重要作用。自由基,例如自由基,與表面反應。離子中的自由基具有很強的電學性質,比離子存在的時間更長。在等離子體中,自由基是高度揮發(fā)性的,它們的功能主要是在化學反應過程中激活(化學)能量轉移。
當電子輸運到表面清洗區(qū)域時,與清洗表面吸附的污染物分子發(fā)生碰撞,會促使污染物分子發(fā)生分解而產生活性自由基,這會有利于引發(fā)污染物分子的進一步活化反應;而且,質量很小的電子比離子運動要快得多,因此電子要比離子更早到達物體表面,并使表面帶有負電荷,從而有利于引發(fā)進一步活化反應。
在另一些情況下,自由基與物體表面分子結合的同時,會釋放出大量的結合能,這種能量又成為引發(fā)新的表面反應推動力,從而引發(fā)物體表面上的物質發(fā)生化學反應而被去除。
各菌在不同材質上的附著力