其特征在于放電氣體不與電極接觸。高頻放電利用高頻電場(chǎng)通過電感或電容耦合對(duì)反應(yīng)器中的氣體進(jìn)行放電以產(chǎn)生等離子體。最常用的頻率是。由于其高能量和寬范圍的射頻單電極放電，電感耦合等離子體質(zhì)譜法現(xiàn)在用于材料的表面處理和有毒廢物的去除和裂解。 DBD等離子清洗是在兩個(gè)放電電極之間填充某種工作氣體，可以在一個(gè)或兩個(gè)電極上覆蓋絕緣介質(zhì)，也可以將介質(zhì)直接懸掛在放電空間中。

以下是超大規(guī)模集成電路制造中常用的幾種等離子刻蝕機(jī)，電感耦合等離子體光源特點(diǎn)即電容耦合等離子刻蝕機(jī)（capacitively Coupled plasma，CCP）、電感耦合等離子刻蝕機(jī)（Inductively Coupled Plasma，ICP和變壓器耦合等離子）、ICP和Transformer Coupled Plasma ）。

在多頻電場(chǎng)的情況下，電感耦合等離子體質(zhì)譜法高頻電場(chǎng)主要起控制等離子體密度的作用，低頻電場(chǎng)主要起控制離子沖擊能量的作用。目前，半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)中主流的電容耦合等離子刻蝕機(jī)就是雙頻和多頻電容耦合等離子刻蝕機(jī)。電容耦合蝕刻機(jī)的另一個(gè)特點(diǎn)是兩個(gè)電區(qū)域不同。在電容耦合等離子體的情況下，具有小面積的電極由于自偏壓而具有高電位差。 2、電感耦合等離子體設(shè)備：電感耦合等離子體設(shè)備是通過對(duì)反應(yīng)室外的電磁線圈施加高頻電壓來進(jìn)行的。

在反應(yīng)室中，電感耦合等離子體質(zhì)譜法快速變化的感應(yīng)磁場(chǎng)在反應(yīng)室中產(chǎn)生感應(yīng)電場(chǎng)，其中第一個(gè)電子獲得能量，然后是冷等離子體。電感耦合等離子體的電子繞磁力線運(yùn)動(dòng)，自由程比電容耦合機(jī)大，可以在較低的壓力下激發(fā)等離子體。等離子體密度可以比電容耦合等離子體的密度高兩個(gè)數(shù)量級(jí)左右，電離率可以達(dá)到1%～5%。等離子體的直流電勢(shì)和離子沖擊能量約為20-40V。與電容耦合等離子體相比，電感耦合等離子體的離子通量和離子能量可以更適當(dāng)和獨(dú)立地控制。

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

為了更好地控制離子沖擊能量，通常將另一個(gè)射頻電源電容耦合到襯底所在的晶片上。在感應(yīng)放電過程中，線圈與電容驅(qū)動(dòng)板級(jí)產(chǎn)生電容耦合元件。換言之，在產(chǎn)生等離子體的過程中，是由外部電源產(chǎn)生電壓差。這等離子體密度和能量的獨(dú)立控制是有害的。因此，一般在線圈和等離子體之間加一層靜電屏蔽層，在不影響電感耦合的情況下濾除線圈的電容耦合分量。線圈布局對(duì)機(jī)器性能有重大影響，并且感應(yīng)線圈設(shè)計(jì)通常因制造商而異。

在材料表面等離子清洗機(jī)靈活、強(qiáng)大、無故障，設(shè)計(jì)為 24/7 全天候運(yùn)行以保護(hù)您的利潤(rùn)，因?yàn)樗鼈兛梢蕴幚硇阅芎徒鉀Q方案。等離子體表面活化劑的表面處理提高了半導(dǎo)體電子器件的抗壓強(qiáng)度。目前，大部分主板控制芯片組采用這種封裝工藝，且大多采用非金屬材料。由于存儲(chǔ)采用芯片電感工藝封裝，存儲(chǔ)體積不變，存儲(chǔ)容量翻倍。片式電感的體積比OP小，散熱和電氣性能優(yōu)良。

7、用途廣泛，基本不受溫度和污染物的影響，對(duì)異味和異味濃度有極好的分解效果，異味和異味去除率達(dá)到80～98%，處理后的氣體異味濃度均達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)。 8、主要特點(diǎn)： 以非甲烷總烴為例，色譜檢測(cè)可能顯示非甲烷總烴的去除率僅為45%，而異味、異味的去除率為90%。這是因?yàn)榉羌淄榭偀N經(jīng)過處理后，有些分子變成小分子，即使通過色譜法檢測(cè)，也顯示為非甲烷總烴。

他們的芯片是世界上最多的，是其中之一最好的新架構(gòu)，”Hermann Hauser 說。 Graphcore除了得到行業(yè)大咖的背書，還憑借創(chuàng)新的特點(diǎn)獲得了紅杉資本等知名機(jī)構(gòu)的投資。寶馬、三星、微軟、博世和戴爾等行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)也在關(guān)注。自成立以來僅三年就籌集了 3.25 億美元。

電感耦合等離子體光源特點(diǎn)

分子量污染物轉(zhuǎn)化為簡(jiǎn)單的小分子安全物質(zhì)，電感耦合等離子體質(zhì)譜法或無味氣體有害物質(zhì)轉(zhuǎn)化為無味無害氣體。設(shè)備特點(diǎn)： 1.高效廢氣凈化：本裝置配備揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOCs）、無機(jī)物、硫化氫、氨、硫醇等主要污染物。 2.無需添加物質(zhì)。冷等離子廢氣處理是一種干法凈化工藝，一種全新的凈化工藝，運(yùn)行過程中不需要額外的添加劑。沒有廢水或廢渣。 ，不會(huì)導(dǎo)致二次污染。

縱觀整個(gè)皮革行業(yè)，電感耦合等離子體質(zhì)譜法冷等離子技術(shù)可能應(yīng)用到以下幾個(gè)方面： 1. 等離子表面處理在濕法處理中的應(yīng)用 2. 等離子表面處理在鞣制過程中由于與膠原反應(yīng)的側(cè)鏈羧基數(shù)量有限而產(chǎn)生的空間位阻、相間距離、離子化等因素的應(yīng)用。根據(jù)低溫等離子表面處理裝置的功能和特點(diǎn)，可以選擇不同的等離子氣體，選擇性地改變膠原纖維表面化學(xué)成分的表面電荷。