等離子清洗機(jī)在干洗方面具有明顯的優(yōu)勢(shì)。本文主要介紹等離子體清洗機(jī)的機(jī)理、類型、工藝特點(diǎn)及其在微電子封裝工藝中的應(yīng)用。1.導(dǎo)言微電子工業(yè)中的清潔是一個(gè)非常廣泛的概念，電暈放電處理廢水的方法包括與去除污染物相關(guān)的任何過(guò)程。通常是指在不破壞材料表面特性和電學(xué)特性的前提下，有效去除殘留在材料上的灰塵、金屬離子和有機(jī)雜質(zhì)。目前，物理和化學(xué)清洗方法已得到廣泛應(yīng)用，大致可分為濕法清洗和干洗兩大類。濕式清洗目前在微電子清洗工藝中仍占主導(dǎo)地位。

其實(shí)，電暈放電處理廢水的方法人們對(duì)等離子體現(xiàn)象并不陌生。自然界中，熾熱的火焰、耀眼的閃電、壯麗的極光，都是等離子體作用的結(jié)果。對(duì)整個(gè)宇宙來(lái)說(shuō)，差不多99。9%以上的物質(zhì)以等離子體狀態(tài)存在，如常數(shù)恒星和星際空間是由等離子體組成的。等離子體可以通過(guò)人工方法產(chǎn)生，如核聚變、核裂變、輝光放電以及各種放電。分子或原子的內(nèi)部結(jié)構(gòu)主要由電子和原子核組成。

增加了一個(gè)額外的功率層。如果規(guī)劃的PCB的功率層為奇數(shù)，電暈放電處理廢水的方法信號(hào)層為偶數(shù)，則可以采用這種方法。一個(gè)簡(jiǎn)單的方法是在堆棧中間添加一個(gè)地層，而不改變其他設(shè)置。先按奇數(shù)PCB布線，再模仿中間的地層，象征剩余的層數(shù)。這與加厚地層中箔涂層的電特性相同。在PCB堆棧的中心附近添加空白信號(hào)層。這種方法減少了堆疊的不平衡，提高了PCB的質(zhì)量。先按奇數(shù)層布線，再加空白信號(hào)層象征其他層。

等離子體清洗是利用離子、電子、受激原子、自由基及其與清洗表面污染物分子的活化反應(yīng)去除污染物的過(guò)程。電子在清洗金屬表面中的作用；等離子體中的電子與原子或分子碰撞形成受激中性原子或原子團(tuán)（也稱自由基），電暈放電處理的優(yōu)缺點(diǎn)可與污染物分子發(fā)生反應(yīng)，使污染物離開金屬表面。

電暈放電處理廢水的方法

等離子體是一種部分電離的中性氣體，其中自由電子和中性分子原子碰撞，通過(guò)碰撞電離，得到更多的電子和離子。基于電子的能量，可以得到更豐富的離子和激發(fā)態(tài)高能中性粒子，由于電子吸附在中性氣體表面，也可以得到負(fù)離子。由于每種氣體在原子分子物理中都有自己的能級(jí)結(jié)構(gòu)，高能電子可以將氣體激發(fā)到不同的能級(jí)。當(dāng)氣體分子和原子從高能級(jí)回移到低能級(jí)時(shí)，會(huì)輻射出不同能量的光子，這些光子代表著不同的波長(zhǎng)。。

非磁化熱等離子體中除光波外，還存在電子朗繆爾波和電子朗繆爾波；離子聲波。朗繆爾波與速度相近的電子共振，形成朗道阻尼。磁化熱等離子體中多普勒效應(yīng)引起的頻率為W=LWCE(L=0,1,2,3,&hellip)的波；）與回旋電子共振，w=lwci(l=0,1,2,&hellip；）會(huì)與回旋離子共振，產(chǎn)生切倫科夫和回旋阻尼。

正因?yàn)楣I(yè)領(lǐng)域向精細(xì)化、精微化方向發(fā)展，等離子體表面改性技術(shù)憑借其精細(xì)清潔、無(wú)損改性等優(yōu)勢(shì)，將在半導(dǎo)體工作、芯片工業(yè)、航空航天等高科技工作中具有越來(lái)越重要的應(yīng)用價(jià)值。。等離子體是由無(wú)序運(yùn)動(dòng)的電子、離子、原子和分子組成的熱氣，構(gòu)成了恒星的內(nèi)部，但科學(xué)家可以在實(shí)驗(yàn)室使用特殊設(shè)備人工制造。

不同氣體形成的等離子體可以形成不同的活性基團(tuán)，如-OH（羥基）或NH2（氨基）。這些活性基團(tuán)可以集中在材料的表層，使得兩種不同物質(zhì)的結(jié)合變得容易，這是傳統(tǒng)表面處理工藝無(wú)法比擬的。借助低溫等離子體技術(shù)，可以簡(jiǎn)單有效地對(duì)材料表面層進(jìn)行活化或化學(xué)改性。等離子體處理在許多現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)中得到了應(yīng)用，證明了其在改善材料加工性能方面的優(yōu)勢(shì)，如粘接、印刷、涂層等?，F(xiàn)已廣泛應(yīng)用于許多行業(yè)。

電暈放電處理的優(yōu)缺點(diǎn)