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通常使用的真空泵是旋轉(zhuǎn)油泵,珠海生產(chǎn)等離子清洗機(jī)腔體生產(chǎn)廠商高頻電源通常用13.56M赫茲的無線電波,設(shè)備的運(yùn)行過程如下:(1)被清洗的工件送入真空室并加以固定,啟動(dòng)運(yùn)行裝置,開始排氣,使真空室內(nèi)的真空程度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。一般排氣時(shí)間大約需要2min。(2)向真空室引入等離子清洗用的氣體,并使其壓力保持在 Pa。 根據(jù)清洗材質(zhì)的不同,可分別選用氧氣、氫氣、氬氣或氮?dú)獾葰怏w。
可以提高整個(gè)工藝線的加工效率; 2.等離子清洗避免了對(duì)人體有害的溶劑,珠海生產(chǎn)等離子清洗機(jī)腔體生產(chǎn)廠商避免了濕法清洗容易清洗物體的問題; 3.避免使用 該清洗方法是一種環(huán)保的綠色清洗方法,因?yàn)樗褂萌纫彝楹推渌?ODS 有害溶劑,清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物。隨著世界對(duì)環(huán)境保護(hù)的極大興趣,這一點(diǎn)變得越來越重要。第四,無線電范圍內(nèi)的高頻產(chǎn)生的等離子體不同于激光等直射光。
蒸發(fā)器配備了電子槍,珠海生產(chǎn)等離子清洗機(jī)腔體生產(chǎn)廠商通過磁場(chǎng)或電場(chǎng)對(duì)電子束進(jìn)行加速聚集,使其集中于汽化物質(zhì)的局部位置,形成加熱束斑。光束斑點(diǎn)溫度達(dá)到3000~6000℃,能量密度達(dá)到20kW/cm2。 在非金屬涂層中,汽化原料的高氣化溫度和汽化會(huì)導(dǎo)致汽化過程中汽化區(qū)域的高溫,大量的輻射熱使基材吸收過多的熱能,提高溫度;同時(shí),氣化分子、離子等顆粒在基材表面凝結(jié)成膜時(shí)釋放的熱量導(dǎo)致基材溫度過高,熱變形嚴(yán)重。
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污染物質(zhì)的出現(xiàn),如氧化物質(zhì)、有機(jī)化學(xué)雜質(zhì)等都是會(huì)明顯削減引線鍵合的抗拉強(qiáng)度值。傳統(tǒng)式的濕式清潔對(duì)鍵合區(qū)的污染物質(zhì)清除不充分或是無法清除,而運(yùn)用低溫低溫等離子處理機(jī)能有效的清除鍵合區(qū)的表層臟污并使其表層活化,能大幅度提高引線的引線鍵合抗拉強(qiáng)度,提升封裝元件的可靠系數(shù)。
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