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除了氣體分子、離子和電子之外，冷等離子體還具有電中性原子或原子團。除了氣體分子、離子和電子外，還有低溫下的電中性原子或氧自由基。 -溫度等離子體氧自由基在冷等離子體中起著重要作用，因為它們是電中性的，存在時間長，并且比冷等離子體離子更豐富。自由基的作用主要是在化學反應過程中“激活”能量轉(zhuǎn)移。被激發(fā)的氧自由基具有很高的能量，這使得它們更容易與物體的表面分子和新的氧結(jié)合。產(chǎn)生自由基并形成新的氧自由基。

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有機有機接枝物在金屬等離子體表面的接枝或聚合物表面的金屬化都涉及到聚合物與金屬的粘附問題。Zhang等人對PTFE(PTFE)與金屬鋁的粘附進行了研究。首先用氬等離子體(頻率40kHz，功率35W，氬壓強80Pa)對PTFE進行預處理。

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