在進(jìn)行等離子刻蝕操作時(shí),北京rtr真空等離子表面處理機(jī)批發(fā)其射頻電源所產(chǎn)生的熱運(yùn)動(dòng)會(huì)使質(zhì)量小、運(yùn)動(dòng)速度快的帶負(fù)電自由電子很快抵達(dá)陰極,而正離子則是由于質(zhì)量大、速度慢而很難在同一時(shí)刻到達(dá)陰極,然后就會(huì)在陰極附近構(gòu)成帶負(fù)電的鞘層,正離子在這個(gè)鞘層的加快之下,就會(huì)筆直的轟擊在硅片的表面,然后使得表面的化學(xué)反應(yīng)加快,而且會(huì)使得反應(yīng)生成物脫離,因而其刻蝕速度極快,離子的轟擊也會(huì)使各向異性刻蝕得以實(shí)現(xiàn)。
氬和氦的特性穩(wěn)定,北京rtr真空等離子表面處理機(jī)批發(fā)放電電壓低(氬原子的電離能E為15.57 eV),易形成半穩(wěn)定原子的物體Ar+與污物碰撞后被放電形成揮發(fā)性污點(diǎn) 真空泵一方面避免了表面材料的反應(yīng),另一方面,氬氣的使用往往會(huì)形成可變穩(wěn)定性原子,與氧和氦分子的碰撞導(dǎo)致電荷轉(zhuǎn)換和再生增加。作用于物體表面的活性氧和氫原子。等離子清洗機(jī)使用純氫氣清洗表面氧化物,效率很高,但這里主要考慮放電的穩(wěn)定性和安全性。
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手表的表盤(pán)都會(huì)進(jìn)行鍍膜處理,北京rtr真空等離子表面處理機(jī)批發(fā)以達(dá)到所需的色澤效果并提高耐磨壽命。 在給手表的表盤(pán)鍍膜之前,需要進(jìn)行等離子清洗以去除表盤(pán)表面的原有污染物,激活表面活性,使得鍍膜時(shí)黏附得更為牢固。如果不使用等離子清洗,則表盤(pán)鍍膜就可能會(huì)成品率降低,膜的使用壽命變差等風(fēng)險(xiǎn)。以上三個(gè)行業(yè)必須使用等離子清洗機(jī),但是我們可以看到它們的主要作用大致相同,去污增加表面活性。 這也是等離子清洗機(jī)的主要優(yōu)點(diǎn)。
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四、貼上透明膠依靠等離子體中活性粒子的“5種作用”,增強(qiáng)粘接、貼合、焊接、涂覆、邦定、除膠效果。被清除的污染物可能為有機(jī)物、環(huán)氧樹(shù)脂、光刻膠、氧化物、微顆粒污染物等。針對(duì)不同的污染物,應(yīng)采用不同的清洗工藝,所選用的氣體也不同。
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