熱等離子體裝置是利用帶電體尖端(如刀尖或針尖及狹縫電極)引起電場(chǎng)不均勻，噴漆工藝的附著力稱為電暈放電，使用電壓和頻率、電極間距、加工溫度和時(shí)間都對(duì)電暈處理效果有影響。隨著電源電壓和頻率的增加，處理強(qiáng)度高，處理效果好。但是，如果工頻過(guò)高或電極間隙過(guò)寬，則電極之間會(huì)發(fā)生過(guò)多的離子碰撞，造成不必要的能量損失。但如果電極間距過(guò)小，則會(huì)產(chǎn)生感應(yīng)損失和能量損失。處理溫度越高，表面特征變化越快，處理時(shí)間延長(zhǎng)，極性基團(tuán)增加。

(D)接觸時(shí)間：待清洗材料在等離子體中的接觸時(shí)間對(duì)材料與等離子體的表面清洗效果影響很大。工作效率。接觸時(shí)間越長(zhǎng)，噴漆工藝的附著力清洗效果越好，但工作效率越低。此外，長(zhǎng)時(shí)間清潔會(huì)損壞材料表面。 (E)滲透率：與常壓等離子清洗工藝相比，清洗大型物體時(shí)會(huì)出現(xiàn)連續(xù)滲透的問(wèn)題。因此，被清洗物與電極的相對(duì)運(yùn)動(dòng)越慢，清洗效果就越高，但如果太慢，工作效率就會(huì)變差，表面也會(huì)受到損傷。

電暈等離子體處理器是一種通過(guò)蝕刻兩個(gè)電極并將它們放置在密閉容器中以形成電磁場(chǎng)來(lái)產(chǎn)生等離子體的設(shè)備。借助真空泵達(dá)到一定的真空度，噴漆工藝對(duì)附著力的影響蒸汽變得越來(lái)越稀薄，分子間距和分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離，也在電磁場(chǎng)的影響下越來(lái)越長(zhǎng)，碰撞。它形成等離子體，同時(shí)產(chǎn)生輝光。等離子體在電磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)，撞擊待處理物體的表面，達(dá)到表面處理、清潔、腐蝕的（效果）。

在等離子體表面處理儀產(chǎn)生等離子體和材質(zhì)接觸面的撞擊會(huì)將其能量轉(zhuǎn)移到材質(zhì)分子和原子接觸面，噴漆工藝的附著力從而產(chǎn)生一系列的物理和化學(xué)反應(yīng)。它還可以通過(guò)向材質(zhì)接觸面注入顆?；驓怏w來(lái)改變材質(zhì)的接觸面性質(zhì)，從而引起碰撞、散射、激發(fā)、重排、異構(gòu)化、結(jié)晶。1）等離子體表面處理儀與材質(zhì)接觸面的蝕刻很多的的離子、活躍的分子和自由基在物理作用下在等離子體接觸面起作用，去除原始污染物和雜質(zhì)。

噴漆工藝的附著力

IV.等離子體設(shè)備氧化物暴露在氧氣和水中的半導(dǎo)體晶片表面會(huì)形成自然氧化層。這種氧化膜不僅阻礙了半導(dǎo)體制造的許多步驟，而且含有一些金屬雜質(zhì)，在一定條件下會(huì)轉(zhuǎn)移到晶圓上形成電缺陷。這種氧化膜的去除常通過(guò)在稀氫氟酸中浸泡來(lái)完成。。普通等離子設(shè)備適用于精密電子、半導(dǎo)體、pcb、高分子材料等高端產(chǎn)品的零部件，這些（高）級(jí)材料如果清洗不當(dāng)，容易導(dǎo)致產(chǎn)品損壞。也常說(shuō)等離子設(shè)備清洗越來(lái)越臟。

隨著電場(chǎng)的持續(xù)增長(zhǎng)，陽(yáng)離子被吸入電極，從而產(chǎn)生電暈電流脈沖，將陰離子擴(kuò)散到間隙空間中。然后重復(fù)下一個(gè)電離和帶電粒子運(yùn)動(dòng)的過(guò)程。當(dāng)循環(huán)產(chǎn)生許多電暈電流脈沖時(shí)，電暈放電在大氣壓下工作，但需要足夠高的電壓來(lái)增加電暈部位的電場(chǎng)。一般在高電壓、強(qiáng)電場(chǎng)的條件下，很難獲得穩(wěn)定的電暈放電，容易發(fā)生局部電弧放電（電?。?。為了提高穩(wěn)定性，反應(yīng)器可以具有不對(duì)稱的電極形狀（見(jiàn)下圖）。

在線等離子清洗機(jī)等離子體清洗機(jī)的原理是先產(chǎn)生真空，真空中分子之間的距離較大，再利用交流電場(chǎng)使工藝氣體變成等離子體，與有機(jī)污染物、微粒污染物反應(yīng)或碰撞形成揮發(fā)性物質(zhì)，通過(guò)工作氣流和真空泵將揮發(fā)性物質(zhì)清除出去，從而使工件達(dá)到了表面清洗活化的目的。等離子體清洗的特點(diǎn)是清洗后無(wú)廢液，對(duì)環(huán)境無(wú)污染。

例如，氧氣、氮?dú)狻⒓淄楹退魵獾葰怏w分子在高頻電場(chǎng)中處于低壓狀態(tài)，在發(fā)生輝光放電時(shí)可以分解加速的原子和分子，并產(chǎn)生電子并離解。帶正電荷和負(fù)電荷的原子和分子，使這樣產(chǎn)生的電子在受到電場(chǎng)加速時(shí)獲??得高能量，與周圍的分子和原子發(fā)生碰撞，分子和原子被激發(fā)發(fā)射電子，從而成為激發(fā)態(tài)或離子態(tài)。 , 物質(zhì)存在的狀態(tài)是等離子體狀態(tài)。。

噴漆工藝對(duì)附著力的影響