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目前銅互連制備采用的是大馬士革工藝川,該工藝的步驟之一 是在已制備好的溝槽或通孔內(nèi)先沉積一層銅擴(kuò)散阻擋層該層用來阻止后續(xù)的金屬銅與單晶硅基底的反應(yīng)和擴(kuò)散然后在擴(kuò)散阻擋層上沉積一層導(dǎo)電的銅籽晶層,用作電鍍工藝的導(dǎo)電層來確保銅電鍍順利進(jìn)行。

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對(duì)于P,等離子清洗機(jī)對(duì)觸摸屏的主要工藝進(jìn)行清洗,提高OCA/OCR、層壓、ACF、AR/AF鍍膜等工藝的附著力/鍍膜能力,去除氣泡/利用異物和各種大氣壓等離子、各種玻璃和薄膜可以用均勻的大氣壓等離子放電進(jìn)行加工,而不會(huì)損壞表面。等離子處理設(shè)備在汽車行業(yè)的應(yīng)用:等離子清洗設(shè)備是汽車行業(yè)不可缺少的。不同過程的精確協(xié)調(diào)是始終如一的高產(chǎn)品質(zhì)量的先決條件。

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