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頻率選擇通常為 13.56MHz 和 2.45GHz。有效輸出:對于一定量的氣體,真空等離子供應輸出功率大,活性粒子密度高,脫膠速度快,但當輸出功率增加到一定值時,消耗能量的活性離子達到飽和狀態(tài),之后輸出功率增加,脫膠速度也不清楚。電源的大小應根據(jù)實際應用標準進行調整。真空值選擇:適度提高真空值會增加電子的平均自由程和從靜電場獲得的動能,有利于弱電解質。

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