等離子設(shè)備在處理過(guò)程中，表面反應(yīng)主要是化學(xué)反應(yīng)。等離子體清洗，習(xí)慣上稱為等離子清洗，很多氣體的等離子態(tài)都能形成高活性顆粒。由化學(xué)式可知，典型的pe工藝為氧或氫等離子體工藝，歷經(jīng)與氧等離子的化學(xué)反應(yīng)，可將非揮發(fā)性有機(jī)物轉(zhuǎn)化為易揮發(fā)的CO2和水汽。除去污垢，使表面潔凈；利用離子氫氣可以通過(guò)化學(xué)反應(yīng)除去金屬表面的被氧化層，清潔金屬表面。
由反應(yīng)性氣體離子化形成的高活性反應(yīng)顆粒，在一定條件下，它與被清洗物的表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，其生成物為易揮發(fā)物質(zhì)，可被抽除；而對(duì)于所清除氣體的化學(xué)成分，選擇適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)氣體組分至關(guān)重要。pe具有表面改性、清洗速度快、選擇性好、對(duì)有機(jī)污染等優(yōu)點(diǎn)。缺陷在于可能會(huì)形成氧化物。
物理反應(yīng)的等離子處理設(shè)備，又稱濺射腐蝕和離子銑IM。表面物理濺射是等離子體中的正離子在電場(chǎng)作用下獲得能量以轟擊表面，與表面分子片斷和原子發(fā)生碰撞，使污染物質(zhì)從表面除去，并且能使表面在分子級(jí)范圍內(nèi)轉(zhuǎn)變微觀形態(tài)粗糙化，從而改善表面的粘結(jié)力。氬本身是一種惰性氣體，等離子態(tài)的氬氣不與表面反應(yīng)，其過(guò)程為氬等離子通過(guò)物理濺射來(lái)凈化表面。等離子體物理清洗并不會(huì)形成被氧化不良反應(yīng)，保持被清洗物化學(xué)純凈，腐蝕各向異性，缺點(diǎn)是對(duì)表面有很大的損傷和熱效應(yīng)，選擇性差，速度低。24753