當油墨剝離速度如下。鋰電池等離子清洗機加工工藝:目前,江西加工非標等離子清洗機腔體按需定制鋰電池主要用于平板電腦、筆記本電腦、手機、數(shù)碼相機等電子數(shù)碼產(chǎn)品。等離子清洗機在制造中發(fā)揮著重要作用。鋰電池。隨著電動汽車的快速發(fā)展和儲能產(chǎn)業(yè)的逐漸興起,這兩個領域也將是未來鋰電池發(fā)展的重點。電子產(chǎn)業(yè)經(jīng)過多年高速增長,有望繼續(xù)穩(wěn)步增長,并隨之向高能量密度、大容量、輕量化方向發(fā)展。動力電池組的可靠性要求非常高。
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在90nm以前的技術工藝中,主要使用等離子清洗設備電容耦合(Capacity Coupled Plasma,CCP)的介質(zhì)蝕刻機臺來進行偏移側墻的蝕刻。這種設備屬于工作在高壓力下的低密度等離子體設備,蝕刻均勻性和工藝穩(wěn)定性相對較差。同時由于離子的發(fā)散的方向性,側墻的側壁角度的一致性也難以控制。
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