目前世界上的工業(yè)清洗種類主要有三大類，它們分別是化學(xué)清洗、物理清洗及生物清洗。其中物理清洗又有PIG技術(shù)清洗、干冰清洗、超聲波清洗、高壓水射流清洗、等離子清洗等清洗門類。通過多年的研究與實(shí)踐，越來越多的用戶開始尋找和轉(zhuǎn)向物理清洗方法?？梢哉f，物理清洗技術(shù)是世界清洗技術(shù)發(fā)展的方向。
      等離子清洗則是物理清洗設(shè)備中的一種。它的工作原理是等離子清洗機(jī)采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來的二次污染。等離子清洗機(jī)外接一臺(tái)真空泵，工作時(shí)清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，短時(shí)間的清洗就可以使有機(jī)污染物被徹底地清洗掉，同時(shí)污染物被真空泵抽走，其清洗程度達(dá)到分子級(jí)。等離子清洗器除了具有超清洗功能外，在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能，等離子體作用于材料表面，使表面分子的化學(xué)鍵發(fā)生重組，形成新的表面特性。對(duì)某些有特殊用途的材料，在超清洗過程中等離子清洗器的輝光放電不但加強(qiáng)了這些材料的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性，并可消毒和殺菌。等離子清洗器廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

等離子清洗機(jī)的應(yīng)用，起源于20世紀(jì)初，隨著高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，其應(yīng)用越來越廣，目前已在眾多高科技領(lǐng)域中，居于關(guān)鍵技術(shù)的地位，等離子清洗技術(shù)對(duì)產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)和人類文明影響最大，首推電子資訊工業(yè)，尤其是半導(dǎo)體業(yè)與光電工業(yè)。

等離子清洗機(jī)已應(yīng)用于各種電子元件的制造，可以確信，沒有等離子清洗機(jī)及其清洗技術(shù)，就沒有今日這么發(fā)達(dá)的電子、資訊和通訊產(chǎn)業(yè)。此外，等離子清洗機(jī)及其清洗技術(shù)也應(yīng)用在光學(xué)工業(yè)、機(jī)械與航天工業(yè)、高分子工業(yè)、污染防治工業(yè)和量測(cè)工業(yè)上，而且是產(chǎn)品提升的關(guān)鍵技術(shù)，比如說光學(xué)元件的鍍膜、延長(zhǎng)模具或加工工具壽命的抗磨耗層，復(fù)合材料的中間層、織布或隱性鏡片的表面處理、微感測(cè)器的制造，超微機(jī)械的加工技術(shù)、人工關(guān)節(jié)、骨骼或心臟瓣膜的抗摩耗層等皆需等離子技術(shù)的進(jìn)步，才能開發(fā)完成。

等離子技術(shù)是一新興的領(lǐng)域，該領(lǐng)域結(jié)合等離子物理、等離子化學(xué)和氣固相界面的化學(xué)反應(yīng)，此為典型的高科技產(chǎn)業(yè)，需跨多種領(lǐng)域，包括化工、材料和電機(jī)，因此將極具挑戰(zhàn)性，也充滿機(jī)會(huì)，由于半導(dǎo)體和光電材料在未來得快速等離子.
清洗機(jī)近20年的研發(fā)及推廣應(yīng)用，已取得了較成功的經(jīng)驗(yàn)。目前電漿與材料表面可產(chǎn)生的反應(yīng)主要有兩種，一種是靠自由基來做化學(xué)反應(yīng)，另一種則是靠等離子作物理反應(yīng)，以下將作更詳細(xì)的說明。
1）等離子體的化學(xué)反應(yīng)

在化學(xué)反應(yīng)里常用的氣體有氫氣（H2）、氧氣（O2）、甲烷（CF4）等，這些氣體在電漿內(nèi)反應(yīng)成高活性的自由基，這些自由基會(huì)進(jìn)一步與材料表面作反應(yīng)。其反應(yīng)機(jī)理主要是利用等離子體里的自由基來與材料表面做化學(xué)反應(yīng)，在壓力較高時(shí)，對(duì)自由基的產(chǎn)生較有利，所以若要以化學(xué)反應(yīng)為主時(shí)，就必須控制較高的壓力來近進(jìn)行反應(yīng)。
2）等離子體的物理反應(yīng)

主要是利用等離子體里的離子作純物理的撞擊，把材料表面的原子或附著材料表面的原子打掉，由于離子在壓力較低時(shí)的平均自由基較輕長(zhǎng)，有得能量的累積，因而在物理撞擊時(shí)，離子的能量越高，越是有的作撞擊，所以若要以物理反應(yīng)為主時(shí)，就必須控制較的壓力下來進(jìn)行反應(yīng)，這樣清洗效果較好。由于半導(dǎo)體和光電材料在未來得快速成長(zhǎng)，此方面應(yīng)用需求將越來越大。
等離子清洗設(shè)備的保養(yǎng)
俗話說，工欲善其事，必先利其器，一個(gè)好的工具往往能讓工作事半功倍。又說：功夫再高也怕菜刀，機(jī)器再好也要保養(yǎng)。所以下面就為大家分享一些常見的保養(yǎng)事宜：
1、定期檢查真空泵油

每月定期查看真空泵油位和油的純度，觀察油位視窗，油位接近最低紅線刻度時(shí)，則添加到油紅標(biāo)線上下之間位置；觀察油的顏色，正常的油為清潔透明，當(dāng)油出現(xiàn)渾濁（油顏色變灰褐色或者油位視窗模糊不清）、真空泵噪音異常，則及時(shí)更換真空油。
2、清洗反應(yīng)腔室

首先脫脂棉布沾無水乙醇（俗稱酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反應(yīng)腔體觀察玻璃）真空腔體。

其次腔體導(dǎo)入（氬氣+氧氣）或（氮?dú)?氧氣），用等離子體清除腔體內(nèi)殘余物。工作10分鐘，每月至少一次。
3、檢查輸氣管道的完整性及真空密封性.
定期檢查真空系統(tǒng)的完整性，這種檢查應(yīng)該在徹底的清洗反應(yīng)室之后，以避免污染物遺漏在腔體中。

定期檢查反應(yīng)腔體門密封條是不是松動(dòng)。檢查各管路是否連接緊固，老化等問題。
隨著等離子清洗被人們了解越來越多，其應(yīng)用也越來越廣。2020年因役情原因，很多行業(yè)的發(fā)展都受到不好的影響。而等離子清洗確逆市增長(zhǎng)，不知同行怎么樣。金徠科技在2020年業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)一倍有余。隨著新能源，5G等新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)力，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。金徠預(yù)計(jì)21年將繼續(xù)高速增長(zhǎng)。