德國Diener Electronic是等離子體技術(shù)領(lǐng)域的創(chuàng)新公司,是低壓等離子體系統(tǒng)、等離子體高頻發(fā)生器和大氣等離子體生產(chǎn)的國際領(lǐng)先者。他們的技術(shù)成熟和巨大成功保證了持續(xù)的全球擴張。
迄今為止,全球已有10000多套Diener等離子系統(tǒng)!
Diener采用先進的集成化技術(shù)開發(fā)生產(chǎn)射頻頻率為40KHz、80KHz、13.56MHz,以及代表等離子應(yīng)用技術(shù)的2.45GHz的等離子清洗機。
目前設(shè)備廣泛應(yīng)用于:等離子清洗、刻蝕、灰化、涂鍍和表面處理。產(chǎn)品主要分布在真空電子、LED、太陽能光伏、集成電路、生命科學、半導體科研、半導體封裝、芯片制造、MEMS器件等領(lǐng)域。其設(shè)備生產(chǎn)零件均選用其零件行業(yè)的產(chǎn)品,以保證性能技術(shù)穩(wěn)定。
德國diener等離子清洗機特點:
等離子清洗機清洗效果好,效率高,應(yīng)用范圍廣。
對清洗樣品,沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求
等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達到常溫處理。
射頻功率無極連續(xù)可調(diào)。
高效的特制電極,是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
特制電極和托盤結(jié)構(gòu),可充分利用真空艙體內(nèi)部空間,使處理效率化,同時也可保證樣品可得到全面有效的清洗。
特有的過載、短路和過熱保護電路,可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全。
設(shè)備整體模塊化設(shè)計,安裝與維護極為簡單。
德國diener等離子清洗機系列:
Diener等離子清洗機主要技術(shù)參數(shù):
1.全自動PCCE控制系統(tǒng),可存儲50套程序。
2.根據(jù)工藝要求不同,可設(shè)定真空泵啟動與停止、發(fā)生器的功率、反應(yīng)腔體壓強、氣體流量與時間等參數(shù)
3.雙路工作氣體,MFC質(zhì)量流量計
4.反應(yīng)艙為方形鋁制腔體w: 150 mm, h: 160 mm, d: 325 mm帶有鉸鏈門,門帶有觀察窗。
5.發(fā)生器100 kHz, 0 – 500 W連續(xù)可調(diào),反射波自動調(diào)節(jié)。
6.電極材質(zhì)為鋁制。
7.真空泵抽氣能力8m3/h
8 配有壓力傳感器,實時顯示壓力值
9.電源電壓:單相AC230V 16A
德國Diener electronic成立于1993年,是世界低溫等離子工業(yè)的國際市場領(lǐng)先者,是一家專門研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機、等離子射頻電源和大氣(常壓)等離子清洗機的高科技企業(yè)。24439