等離子清洗機(jī)可以處理多種材料：包括塑料、金屬、汽車制造、紡織行業(yè)、電子行業(yè)、半導(dǎo)體封裝行業(yè)、LED行業(yè)甚至生物領(lǐng)域。等離子體清洗機(jī)主要適用于各種材料的表面改性：表面清洗、表面活化、表面刻蝕、表面接枝、表面沉積、表面聚合和等離子體輔助化學(xué)氣相沉積。

例如，薄膜電暈處理的作用電子產(chǎn)品中，LCD/OLED屏幕的鍍膜處理，PC塑料邊框的預(yù)粘接處理，機(jī)殼、按鍵等結(jié)構(gòu)件的表面注油絲網(wǎng)印刷，PCB表面的去膠去污清洗，鏡片貼膠前處理，電線電纜噴碼前處理，汽車行業(yè)燈罩、剎車片、車門密封膠等貼膠前處理；機(jī)械行業(yè)金屬件精細(xì)無害化清洗處理、鏡片鍍前處理、各種工業(yè)材料間粘接密封前處理、三維物體表面改性處理等。PII技術(shù)已成功地應(yīng)用于非金屬材料的離子注入。

等離子體中粒子的能量通常在幾到十電子伏特左右，薄膜電暈處理的作用比高分子材料的成鍵能（幾到十電子伏特）還要大。它能完全打破有機(jī)大分子的化學(xué)鍵，形成新的鍵，但遠(yuǎn)低于高能放射線，只涉及材料表面，不影響基體的性能；等離子體表面處理設(shè)備技術(shù)在塑料和橡膠（陶瓷、玻璃）行業(yè)的應(yīng)用：聚丙烯、PTFE等橡塑材料是非極性的，這些材料沒有等離子體表面處理設(shè)備的印刷、粘接、涂布效果很差，甚至無法進(jìn)行。

超聲波清洗：眾所周知，塑料薄膜電暈處理檢測(cè)儀人們聽到的聲音是頻率為20～20000Hz的聲學(xué)信號(hào)。20000Hz以上的聲波稱為超聲波，聲波的傳輸按照正弦曲線縱向傳播，即一層強(qiáng)一層弱，依次傳輸。當(dāng)微弱的聲信號(hào)作用于液體時(shí)，會(huì)對(duì)液體產(chǎn)生一定的負(fù)壓，這種負(fù)壓會(huì)在液體中形成許多微小的氣泡。當(dāng)強(qiáng)聲信號(hào)作用于液體時(shí)，會(huì)對(duì)液體產(chǎn)生一定的正壓力，從而使液體中形成的微小氣泡被粉碎。

薄膜電暈處理的作用

從名稱上看，清洗不是清洗，而是加工和反應(yīng)。從機(jī)理上看：等離子體清洗機(jī)在清洗中通過工作氣體在電磁場(chǎng)的作用下激發(fā)等離子體與物體表面發(fā)生物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)。其中，物理反應(yīng)機(jī)理是活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物從表面分離，最后通過真空泵吸走；其化學(xué)反應(yīng)機(jī)理是各種活性顆粒與污染物反應(yīng)生成揮發(fā)性物質(zhì)，再通過真空泵將揮發(fā)性物質(zhì)吸走，從而達(dá)到清洗的目的。

等離子清洗可大大改善工件外觀的粗糙度和親水性，有利于銀膠鋪貼和貼片，共同作用可大大節(jié)省銀膠用量，降低成本。2.引線鍵合前：芯片與基板鍵合后，經(jīng)過高溫固化，其上的污染物可能包括微粒和氧化物等，這些污染物可能會(huì)從物理和化學(xué)反應(yīng)中造成引線與芯片、基板之間的焊接不完全或粘合不良，導(dǎo)致鍵合強(qiáng)度不足。引線鍵合前的等離子清洗顯著提高了其外部活性，進(jìn)而提高了鍵合絲的鍵合強(qiáng)度和張力均勻性。

該反應(yīng)可以通過微波、電流柱放電和射頻等離子體實(shí)現(xiàn)。Liu以He為平衡氣體（占總氣體流量的60%～80%)通過流動(dòng)塔排出。在一定的放電功率下，甲烷轉(zhuǎn)化率為20%～80%，二氧化碳轉(zhuǎn)化率為8%～49%，碳二烴產(chǎn)率為20%～45%。陳東亮等。在微波等離子體等離子體作用下直接轉(zhuǎn)化CH4和CO2，一步制得C2烴。反應(yīng)中主要的C烴產(chǎn)物為C2H2和C2H6，等離子體功率的增加有利于C2H2的生成。姚等人。

當(dāng)向氣體中加入足夠的能量使其電離時(shí)，它就變成了等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性”成分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等，等離子體處理器是指利用這種活性成分的性質(zhì)對(duì)樣品表面進(jìn)行清洗，進(jìn)而達(dá)到光刻膠清洗、改性、灰化等目的。等離子體處理器的結(jié)構(gòu)分為三大組成部分，即控制單元、真空腔和真空泵。

薄膜電暈處理的作用

真空等離子體清洗機(jī)等離子體中存在鞘層現(xiàn)象：由于等離子體一開始處于準(zhǔn)電中性狀態(tài)，塑料薄膜電暈處理檢測(cè)儀如果等離子體中懸浮著一個(gè)不導(dǎo)電的絕緣基片，基片中的離子和電子都會(huì)向基片移動(dòng)，單位時(shí)間內(nèi)到達(dá)基片的電子數(shù)遠(yuǎn)大于離子數(shù)。到達(dá)襯底的電子部分與離子重新結(jié)合，其余的都是離子，所以堿基底面會(huì)發(fā)生負(fù)電荷積累，從而在襯底表面形成負(fù)電位。這個(gè)負(fù)電位排斥隨后的電子，吸引正離子。當(dāng)襯底的負(fù)電位達(dá)到一定水平時(shí)，離子流就會(huì)變成電子流。

該反應(yīng)為純化學(xué)反應(yīng)，薄膜電暈處理的作用屬于各向同性蝕刻。等離子邊緣蝕刻機(jī)是通過特殊的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，只對(duì)晶圓邊緣區(qū)域進(jìn)行清潔蝕刻，對(duì)減少缺陷數(shù)量、提高成品率有很好的效果。1.電容耦合等離子體機(jī)：對(duì)兩個(gè)平行板電容器施加高頻電場(chǎng)，反應(yīng)室中的初始電子在射頻電場(chǎng)作用下獲得能量，轟擊刻蝕氣體使其電離，產(chǎn)生更多的電子、離子和中性自由基，形成動(dòng)態(tài)平衡的低溫等離子體。