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三、等離子處理的優(yōu)點(diǎn)及作用(1)經(jīng)過等離子處理以后，寧德等離子清洗機(jī)裝置分子泵哪里有賣被清洗物體已經(jīng)很干燥，不必再經(jīng)干燥處理；(2)不使用有害溶劑，不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，屬于有利于環(huán)保的綠色清洗方法；(3)用無(wú)線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體方向性不強(qiáng)，可以深入物體的微細(xì)孔眼和凹陷內(nèi)，特別適合用于線路板生產(chǎn)中盲孔以及微小孔的清洗；(4)整個(gè)清洗工藝流程在幾分鐘內(nèi)即可完成，具有效率高的特點(diǎn)；(5)等離子清洗的最大技術(shù)特點(diǎn)是：它不分處理對(duì)象，可處理不同的基材；如金屬、半導(dǎo)體、氧化物以及高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、據(jù)四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物)等都可用等離子處理；(6)在使用等離子清洗時(shí)，去污的同時(shí)，還能改變材料本身的表面性能，如提高表面的潤(rùn)濕性能，改善膜的附著力等。
等離子體中含有大量光子、電子、離子、自由基、特定原子的激發(fā)態(tài)、原子和特定分子的激發(fā)態(tài)分子等，寧德等離子清洗機(jī)服務(wù)商為化學(xué)反應(yīng)提供高活性的特定粒子，導(dǎo)致許多通常無(wú)法產(chǎn)生或需要極其苛刻條件的化學(xué)反應(yīng)，變得易于在近室溫下進(jìn)行，為實(shí)現(xiàn)化學(xué)反應(yīng)提供了新途徑。對(duì)于多晶硅化工而言，從能耗控制、效率提升等方面考慮加氫、氣相沉積等工藝，利用等離子體促進(jìn)反應(yīng)過程具有重要的實(shí)用價(jià)值和科研價(jià)值。
工作壓強(qiáng)是等離子清洗的重要參數(shù)之一，寧德等離子清洗機(jī)服務(wù)商壓強(qiáng)的提高意味著等離子體密度的增加和粒子，平均能量的降低，對(duì)化學(xué)反應(yīng)為主導(dǎo)的等離子體，密度的增強(qiáng)能顯著提高等離子系統(tǒng)的，清洗速度，而物理轟擊主導(dǎo)的等離子清洗系統(tǒng)則效果并不明顯。此外，壓強(qiáng)的改變可能會(huì)引起等離子體清洗反應(yīng)機(jī)理的變化。如硅片刻蝕工藝所采用的CF4/O2等離子體，當(dāng)壓強(qiáng)較低時(shí)離子轟擊起主導(dǎo)作用，而隨著壓強(qiáng)的增加，化學(xué)刻蝕不斷加強(qiáng)并逐漸占據(jù)主導(dǎo)作用。
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