.. 3、功率和頻率對(duì)等離子清洗效果的影響：電源功率影響等離子的各種參數(shù)，電感耦合等離子體光源有幾部分組成優(yōu)點(diǎn)是什么如電極溫度、等離子產(chǎn)生的自偏壓、清洗等。效率。隨著輸出功率的增加，等離子清洗率會(huì)逐漸增加，然后逐漸增加。自偏置電壓隨著輸出功率的增加而不斷增加，但逐漸穩(wěn)定在峰值。由于功率范圍基本恒定，所以頻率是影響等離子體自偏壓的重要參數(shù)，隨著頻率的增加，自偏壓逐漸減小。此外，隨著頻率的增加，等離子體中的電子密度逐漸增加，但平均粒子能量逐漸降低。

隨著壓力的升高，電感耦合等離子體光源有幾部分組成優(yōu)點(diǎn)是什么化學(xué)蝕刻不斷加強(qiáng)，逐漸發(fā)揮主導(dǎo)作用。 2.3 功率和頻率對(duì)等離子清洗效果的影響 來(lái)自電源的功率會(huì)影響等離子的各種參數(shù)，如電極溫度、等離子產(chǎn)生的自偏壓、清洗功率等。隨著輸出功率的增加，等離子清洗速率逐漸增加并穩(wěn)定在峰值，但隨著輸出功率的增加，自偏壓繼續(xù)升高。由于功率尺度基本穩(wěn)定，頻率是影響等離子體自偏壓的重要參數(shù)，自偏壓隨著頻率的增加而逐漸減小。

由于功率范圍基本恒定，電感耦合等離子體光源有幾部分組成優(yōu)點(diǎn)是什么因此頻率是影響等離子體自偏壓的重要參數(shù)。隨著頻率的增加，自偏置電壓逐漸降低。此外，隨著頻率的增加，等離子體中的電子密度逐漸增加，但平均粒子能量逐漸降低。等離子表面處理技巧，如何改變材料表面的潤(rùn)濕性能什么是表面處理？固體材料的表面能和聚合物表面處理的要求。一般來(lái)說(shuō)，塑料材料應(yīng)該粘在金屬或其他塑料材料上，或者簡(jiǎn)單地印在塑料表面上。為了成功，液態(tài)膠水或墨水必須能夠潤(rùn)濕材料表面。

例如硅片刻蝕工藝中使用的CF4/O2等離子在低壓下起主導(dǎo)作用，等離子體自偏壓隨著壓力的升高，化學(xué)刻蝕不斷加強(qiáng)，逐漸起主導(dǎo)作用。..電源功率與工作頻率對(duì)等離子清洗效果的干擾：電源的輸出功率會(huì)干擾等離子的所有參數(shù)，如電極溫度、等離子產(chǎn)生的自偏壓、清洗效率等。隨著輸出功率的增加，等離子清洗速率逐漸增加并穩(wěn)定在峰值，但自偏置電壓隨著輸出功率的增加而增加。由于輸出功率范圍基本恒定，因此工作頻率是防止等離子體自偏壓的重要參數(shù)。

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n12 + 188.25 n13) kJ/mol (4-5) 在式(4-5)中，n11、n2和n3分別表示以下。 n11為C2烴產(chǎn)物中C2H6的摩爾分?jǐn)?shù)，mol/%，n12為C2烴產(chǎn)物中C2H4的摩爾分?jǐn)?shù)，mol/%；n13為C2烴產(chǎn)物中C2H2的摩爾分?jǐn)?shù)，比率為摩爾/%。

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