（2）當(dāng)真空等離子清洗機(jī)的匹配器出現(xiàn)故障時(shí)，電暈機(jī)不打火應(yīng)及時(shí)確認(rèn)電極板的擺放位置，插針公頭和母頭的放置，屏蔽盒內(nèi)部連接（是否有接觸不良、導(dǎo)電片是否與外墻接觸、距離是否過(guò)近）、匹配器初值確定、內(nèi)部是否清潔、空氣電容是否錯(cuò)位打火、空氣電容是否轉(zhuǎn)動(dòng)（是否打滑）、傳動(dòng)電機(jī)是否能正常工作、射頻電源是否有輸出、各連接段是否短路等，如匹配裝置有燒焦味或以上問(wèn)題無(wú)法解決，請(qǐng)及時(shí)與專(zhuān)業(yè)人員聯(lián)系。

當(dāng)匹配器渲染不正常工作時(shí)，電暈機(jī)不打火報(bào)警需要及時(shí)識(shí)別電極板擺放、公母引腳與屏盒的連接（是否存在接觸不良或?qū)щ娖c外壁的接觸及間隔過(guò)近）、匹配器初值、內(nèi)部是否干凈、空氣電容是否錯(cuò)位打火、空氣電容能否滾動(dòng)（是否打滑）、驅(qū)動(dòng)電機(jī)能否工作、射頻電源是否有輸出以及各連接段是否短路等。如果匹配器內(nèi)有燒焦味，無(wú)法處理上述問(wèn)題，請(qǐng)及時(shí)與專(zhuān)業(yè)人員聯(lián)系。

所謂氣體放電，電暈機(jī)不打火報(bào)警是指電子通過(guò)一定機(jī)制從氣體原子或分子中電離出來(lái)，形成的氣體介質(zhì)稱(chēng)為電離氣體。如果電離氣體是由外電場(chǎng)產(chǎn)生并形成導(dǎo)電電流，這種現(xiàn)象稱(chēng)為氣體放電。根據(jù)放電機(jī)理、氣壓J源的性質(zhì)和電極的幾何形狀，氣體放電等離子體可分為以下幾種形式:①輝光放電；3.介質(zhì)阻擋放電；④射頻放電；⑤微波放電。無(wú)論產(chǎn)生哪種形式的等離子體，都需要高壓放電。很容易打火，造成危險(xiǎn)。由于氣態(tài)污染物的處理，一般要求在常壓下進(jìn)行。

操作不當(dāng)主要是指當(dāng)?shù)入x子設(shè)備發(fā)生故障時(shí)，電暈機(jī)不打火操作人員沒(méi)有及時(shí)、規(guī)范地打破真空、啟動(dòng)真空泵，而是直接點(diǎn)擊自動(dòng)界面上的啟動(dòng)按鈕。此時(shí)，真空泵末端若有殘留油氣，在室內(nèi)真空負(fù)壓作用下，會(huì)被吸回室內(nèi)真空，造成真空產(chǎn)品污染。由于真空等離子清洗機(jī)報(bào)警后停機(jī)，高真空擋板閥會(huì)自動(dòng)關(guān)閉，但此時(shí)真空室仍處于高真空狀態(tài)，高真空轉(zhuǎn)真空泵末端處于常壓狀態(tài)，存在壓差。

電暈機(jī)不打火報(bào)警

1.公共氣路控制布置真空等離子體清洗機(jī)的常規(guī)氣路通常包括兩個(gè)工藝氣體控制、一個(gè)空氣斷路器控制和一個(gè)壓縮空氣(CDA)控制。2.各氣路的組成及特點(diǎn)壓縮空氣控制部分只需氣體高壓、過(guò)濾器和輸出報(bào)警壓力表全套元件，不需要其他元件。由于CDA是某些組件的動(dòng)力氣體，只需在氣體壓力不足時(shí)提供報(bào)警服務(wù)。在空氣斷路器部分，在CDA控制氣路的基礎(chǔ)上增加了大口徑真空電磁閥，工藝操作結(jié)束后真空空腔提供真空破斷氣體輸入服務(wù)。

等離子清洗機(jī)真空泵出現(xiàn)熱過(guò)載維修，如何檢查？第一，在這種情況下，請(qǐng)先調(diào)查真空等離子清洗機(jī)的系統(tǒng)參數(shù)是否發(fā)生了變化。真空等離子體吸塵器突然斷電會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)參數(shù)歸零，進(jìn)而引起報(bào)警；第二，如果系統(tǒng)參數(shù)不變，請(qǐng)承認(rèn)熱繼電器是否主動(dòng)維護(hù)，按下復(fù)位鍵，然后啟動(dòng)真空發(fā)電系統(tǒng)。如無(wú)主動(dòng)維護(hù)，請(qǐng)檢查電路是否開(kāi)路或短路；第三，檢查導(dǎo)線是否開(kāi)路或短路；4.請(qǐng)檢查真空等離子清洗機(jī)真空泵；。

一些非高分子無(wú)機(jī)氣體(Ar2、N2、H2、O2等）在高頻低壓下被激發(fā)產(chǎn)生許多活性粒子，包括離子、激發(fā)分子、自由基等。一般在等離子體清洗中，活化氣體可分為兩類(lèi)，一類(lèi)是惰性氣體等離子體（如Ar2、N2等）；另一類(lèi)是反應(yīng)氣體（如O2、H2等）的等離子體。這些活性粒子能與表面材料發(fā)生反應(yīng)。在此過(guò)程中，等離子體能有效地在材料表層，尤其是聚合物表面產(chǎn)生大量自由基。

等離子清洗機(jī)可以實(shí)現(xiàn)表面改性、清洗，提高產(chǎn)品性能，大大降低了產(chǎn)品在制造過(guò)程中造成的不良率，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本。在等離子體清洗機(jī)清洗金屬表面的過(guò)程中，電子與原子或分子的碰撞可以產(chǎn)生被激發(fā)的中性原子或原子團(tuán)（也稱(chēng)自由基），這些被激發(fā)的原子或自由基與污染物分子發(fā)生反應(yīng)，使污染物離開(kāi)金屬表面。

電暈機(jī)不打火怎么回事

經(jīng)低溫等離子體表面處理后，電暈機(jī)不打火材料表面發(fā)生許多物理和化學(xué)變化，如刻蝕和粗糙，形成致密的交聯(lián)層，或引入含氧極性基團(tuán)，分別提高親水性、附著力、染色性、生物相容性和電學(xué)性能。在合適的工藝條件下對(duì)材料表面進(jìn)行處理，使材料表面被覆蓋并印刷。在電極兩端施加交流高頻高壓，使兩電極之間的空氣產(chǎn)生氣體電弧放電，形成等離子體區(qū)。電子不斷與運(yùn)動(dòng)中的氣體分子碰撞，產(chǎn)生大量新的電子，這些電子到達(dá)陽(yáng)極后會(huì)聚集在介質(zhì)表面，實(shí)現(xiàn)表面改性。

經(jīng)等離子體表面處理設(shè)備清洗后，電暈機(jī)不打火聚二甲基硅氧烷(PDMS)覆蓋片和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基底的復(fù)合微流控芯片結(jié)合穩(wěn)定性顯著增強(qiáng)。用紅外光譜和掃描電鏡對(duì)處理前后的PMMA進(jìn)行了表征，確定了硅烷化等離子體法的可行性；同時(shí)測(cè)定了PDMS、PMMA和硅烷化PMMA在不同等離子體處理時(shí)間下的接觸角和接觸角回復(fù)。通過(guò)正交試驗(yàn)得到了較大結(jié)合力的等離子體處理時(shí)間和有效操作時(shí)域。。