1.1 表面有機(jī)層的焚燒-表面受到物理沖擊和化學(xué)處理 1.金屬表面的脫脂和清潔-污染物在真空和瞬時高溫下的部分蒸發(fā)-污染物被高能離子的沖擊粉碎并排出通過真空泵-紫外線輻射會破壞污染物。等離子處理只能滲透到每秒幾納米的厚度，氬氣去膠設(shè)備因此污染層不能做得太厚。指紋也可以。 1.2 氧化物去除金屬氧化物與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。這個過程需要使用氫氣或氫氣和氬氣的混合氣體。也可以使用兩步處理過程。

材料涂層粘接等工藝。材料表面通常有兩種主要的污染源。 1.物理吸附的異物分子一般可以通過加熱解吸，氬氣去膠而化學(xué)吸附的異物分子需要相對高能的化學(xué)反應(yīng)過程才能解吸。 2、表面自然氧化層一般形成于金屬表面，影響金屬的可焊性及與其他材料的結(jié)合性能。等離子表面處理技術(shù)可以有效處理以上兩類表面污染物，處理工藝首先要選擇合適的處理（氣體）氣體。在等離子表面處理工藝中，常用的工藝氣體是氧氣和氬氣。

2、氬氣在等離子體環(huán)境中產(chǎn)生氬離子，氬氣去膠機(jī)器利用材料表面產(chǎn)生的自偏壓濺射材料，去除（去除）表面吸附的異物，氧化表面金屬，可以有效去除東西.微電子工藝 其中，引線鍵合前的等離子處理就是這種工藝的典型例子。等離子處理后的焊盤表面去除了異物和金屬氧化層，可以提高后續(xù)引線鍵合工藝的良率和引線的推挽性能。在等離子工藝中，除了工藝氣體的選擇外，等離子電源、電極結(jié)構(gòu)、反應(yīng)壓力等各種因素對處理效果（結(jié)果）都有各種影響。

使用氬氣進(jìn)行清潔。氬離子以足夠的能量與設(shè)備表面碰撞以去除（任何）污垢。聚合物中聚合物的化學(xué)鍵被分離成小分子，氬氣去膠設(shè)備通過真空泵蒸發(fā)排出。通過氬氣時等離子清洗后，可以改變材料表面的微觀形貌，使材料在分子水平上變得更加“粗”，顯著提高表面活性，提高表面結(jié)合性能。氬等離子體的優(yōu)點是它可以清潔材料表面而不會留下氧化物。缺點是可能會在其他不希望的區(qū)域發(fā)生過度腐蝕或污染顆粒的重新積累，但可以通過微調(diào)工藝參數(shù)來控制這些缺點。

氬氣去膠設(shè)備

您還可以將系統(tǒng)與生產(chǎn)線匹配，無論是新線還是舊線改造，取決于您使用的單元的生產(chǎn)線的具體要求。等離子表面處理是一種“清潔”的處理工藝。在加工過程中，電離空氣會產(chǎn)生少量的臭氧O3，但對于某些材料，在加工過程中會分解出少量的氮氧化物。必須配備排氣系統(tǒng)。在線處理過程中除壓縮空氣外，無需其他特殊氣體。但是，如果輝光放電裝置在大氣壓以下，可以充入氬氣或氦氣等惰性氣體，在與空氣不同的氣氛中進(jìn)行表面處理。

例如，大氣壓等離子體只能清潔某些特定材料，或相對平坦的材料，通常是手機(jī)的玻璃板和框架。常壓等離子清洗機(jī)2：所選擇的氣體存在差異，各種復(fù)雜的工藝都在真空室內(nèi)進(jìn)行精確（準(zhǔn)確）控制。通常有多種氣體可供選擇。常用的有氫氣、氧氣、氬氣等。每種氣體的性質(zhì)不同，所能達(dá)到的效果也不同。經(jīng)常使用混合氣體。大氣壓等離子常用于普通壓縮空氣，當(dāng)然也可以連接氮氣。例如，如果有特殊要求，可以連接電暈機(jī)進(jìn)行氮氣處理。國內(nèi)很多公司都做不到。

在這種情況下等離子處理產(chǎn)生以下效果：表面有機(jī)層灰化-表面經(jīng)受物理沖擊和化學(xué)處理-在真空和臨時高溫條件下污染物的部分蒸發(fā)-由污染物真空泵在高能離子的影響下泵送-紫外線發(fā)射破壞污染物等離子處理每秒只能滲透到幾納米的厚度，所以污染層不會太厚，指紋也可以。氧化物去除金屬氧化物與工藝氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。該過程使用氫氣或氫氣和氬氣的混合物。也可以使用兩步處理過程。

第一步是用氧氣氧化表面，第二步是用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也可以同時處理多種氣體。表面等離子效應(yīng)——在實驗中，我們把金屬的小粒子當(dāng)作等離子（金屬晶體有很多可以在里面運動的自由電子——它們有定量的電荷，自由分布，不碰撞，而且電荷消失——所以金屬晶體可以被認(rèn)為是電子的等離子體），并且金屬的介電常數(shù)在可見光和紅外波長為負(fù)，因此當(dāng)金屬和電介質(zhì)結(jié)合成復(fù)合結(jié)構(gòu)時，會出現(xiàn)許多有趣的現(xiàn)象。

氬氣去膠機(jī)器

超聲波等離子體產(chǎn)生的反應(yīng)是物理反應(yīng)，氬氣去膠高頻等離子體產(chǎn)生的反應(yīng)既是物理反應(yīng)又是化學(xué)反應(yīng)，微波等離子體產(chǎn)生的反應(yīng)是化學(xué)反應(yīng)。高頻等離子清洗和微波等離子清洗主要用于現(xiàn)實世界的半導(dǎo)體制造應(yīng)用，因為超聲波等離子清洗對要清洗的表面有很大的影響。超聲波等離子用于表面脫膠、毛刺研磨和其他處理。典型的等離子物理清洗工藝是在反應(yīng)室中加入氬氣作為輔助處理的等離子清洗。