● 高壓高頻發(fā)生器將恒壓轉(zhuǎn)換為高壓(10KV以上)。這是形成高壓放電所必需的。 ● 高壓冷卻工藝氣體通過柔性管道輸送到排放區(qū)。 ● 氣流的主動(dòng)元素(i +、e-、r *)在放電區(qū)域產(chǎn)生電弧。 ● 通過特殊的噴嘴開口時(shí),pvc附著力促進(jìn)劑主動(dòng)氣流集中在樣品表面,發(fā)揮治療作用。 ● 等離子噴槍(動(dòng)態(tài)旋轉(zhuǎn)式);最高轉(zhuǎn)速:3000轉(zhuǎn)/分鐘;加工寬度:3-60mm,采用進(jìn)口一體化專用。

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低溫等離子體技術(shù)主要包括電子束發(fā)射、介質(zhì)阻擋放電、表面放電和電暈放電。介質(zhì)阻擋放電是高壓下的一種非平衡放電過程。介質(zhì)阻擋放電是一種高效、方便的等離子體產(chǎn)生技術(shù)。低溫等離子體技術(shù)在處理揮發(fā)性有機(jī)化合物方面具有獨(dú)特的性能,pvc附著力促進(jìn)劑具有非常廣闊的研究前景。在超低溫等離子體處理揮發(fā)性有機(jī)化合物中,反應(yīng)器的電源主要為電源。為了提高處理效率,可以考慮使用高頻電源。

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等離子表面處理中最常用的工藝氣體是氧氣和氬氣。 1)氧氣可以在等離子體環(huán)境中電離,生成大量含氧極性基團(tuán),并有效去除。材料表面存在有機(jī)污染物,吸附了材料表面的極性基團(tuán),有效提高了材料的結(jié)合力。在微電子封裝工藝中,塑封前的等離子體處理是此類處理的典型應(yīng)用。等離子處理的表面具有更高的表面能,可以有效地與模塑料結(jié)合,以減少成型過程中的開裂和針孔形成。

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