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當(dāng)溫度繼續(xù)升高，氣態(tài)分子熱運動加劇，當(dāng)溫度足夠高時，分子中的原子由于獲得了足夠大的動能，便開始彼此分離。分子受熱時分裂成原子狀態(tài)的過程稱為離解。若進(jìn)一步提高溫度，原子的外層電子會擺脫原子核的束縛成為自由電子。失去電子的原子變成帶電的離子，這個過程稱電離。發(fā)生電離(無論是部分電離還是完全電離)的氣體稱之為等離子體(或等離子態(tài))。等離子體是由帶正、負(fù)電荷的粒子組成的氣體。

聚合物、包括形狀不一的槽孔和狹長的孔洞內(nèi)的微粒，使用等離子可以輕而易舉清洗掉。眾所周知，如果孔洞變鋒利了，金屬液體就很難注入，這是因為尖角會增加表面張力，從而影響金屬液體的流動，等離子清洗可以清除深孔或其它深度光刻膠等殘留物。。等離子表面處理機(jī)等離子清洗機(jī)3DNAND中的蝕刻工藝：相比平面NAND閃存工藝，3DNAND由于器件結(jié)構(gòu)發(fā)生巨大變化，相應(yīng)的等離子表面處理機(jī)等離子清洗機(jī)蝕刻工藝也與以往大不相同。

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