等離子清洗機的處理可以提高材料表面的潤濕性，等離子體刻蝕的各向異性進行各種材料的涂鍍、電鍍等操作，提高粘合強度和粘合強度，去除有機污染物，油類和油脂增加。同時。使用等離子清洗機對晶圓進行表面處理，完成材料表面改性，提高附著力、活化、接枝、涂膜、蝕刻，解決材料表面問題，粘合劑..改善油墨附著力、油漆剝落、焊接薄弱、密封不良、漏氣等問題。。等離子清洗設備廣泛應用于等離子清洗、蝕刻、灰化、鍍膜、表面處理等。

如果粘貼的時候不清理干凈，等離子體刻蝕的各向異性會影響分子內力，附著力差，還會脫落，那么表面怎么辦呢？粘合前要加工的物體？近年來，等離子活化表面技術被越來越多的廠商引入生產車間。它已被客戶指定為一種材料預處理方法，取代了傳統(tǒng)的預處理方法。粘合。

其主要原因是圓片表面的顆粒和金屬雜質沾污會嚴重影響器件的質量和成品率,在目前的集成電路生產中,由于圓片表面沾污問題,仍有50% 以上的材料被損失掉。而且其工藝質量將直接影響到器件的成品率、性能和可靠性,所以國內外各大公司、研究機構等對清洗工藝的研究一直在不斷地進行。 等離子體清洗具有工藝簡單、操作方便、沒有廢料處理和環(huán)境污染等問題。但它不能去除碳和其它非揮發(fā)性金屬或金屬氧化物雜質。

等離子設備清洗系統(tǒng)的高度自動化，等離子體清洗機處理時的實驗現(xiàn)象使得系統(tǒng)控制運行相對穩(wěn)定，改變了傳統(tǒng)清洗過程中監(jiān)控粗放、監(jiān)管松懈的問題。特別是在化學品船等危險行業(yè)，全自動清洗系統(tǒng)大大提高了清洗安全性。全自動清洗具有節(jié)能、高（效率）、消耗、安全（安全）、穩(wěn)定生產的特點，工業(yè)清洗行業(yè)邁出了重要的一步。。等離子在在線等離子清洗機BGA封裝工藝中的應用：在 BGA 封裝中，板子或中間層是 BGA 封裝的重要組成部分，除了布線連接外，還可以使用。

等離子體刻蝕的各向異性

b、化學反應清洗：利用活性氣體如H2、O2的特性，使之發(fā)生還原反應或變成活性官能團，進行接觸面改性，提高親水性等；如1:O2+e-→2O*+e-O*+有(機)物→CO2+H2O。由反應式可見，氧氣等離子體通過化學反應將非揮發(fā)性有(機)物轉化為易揮發(fā)的H2O和CO2。

通常，在機械或表面處理后，粘性松散顆粒會殘留在表面上，而水性清洗會產生不溶性的局部質量殘留物，該殘留物隨后會在蒸發(fā)后以薄膜的形式重新沉積在整個表面上。這層薄膜很難去除，除非用等離子或其他放射性處理。真空等離子清潔可去除所有殘留物并“自清潔”表面?？梢杂梅磻詺怏w增強粘附力。通過形成化學鍵或電連接，這些氣體與表面反應或沉積以產生化學物質和自由基，從而提高它們對所粘附表面的親和力。

3.避免非特異性蛋白質吸附在材料表面，長期保持材料表面清潔。常用于隱形眼鏡、傷口愈合材料、導管、生物傳感器等。四。 PET 薄膜的處理增加了白蛋白吸附后的保留時間并改善了抗凝性能。五。冷等離子體發(fā)生器改善了骨骼和假體的定位和固定，并提高了關節(jié)的耐磨性和生物相容性。隨著科學技術的不斷發(fā)展和應用，低溫等離子發(fā)生器等離子表面處理技術的應用，不僅提高了高分子材料在特殊環(huán)境下的性能，也間接擴大了高分子材料的應用范圍。

..等離子體處于非熱力學平衡狀態(tài)，具有較高的電子能量，可以破壞材料表面分子的共價鍵，提高粒子氧化反應的特異性（高于熱等離子體）。中性粒子的溫度接近室溫，是一種熱敏聚合物。表面改性提供了合適的條件。目前市場上常見的塑料、橡膠等材料都是經過等離子表面改性的。等離子表面處理后，材料表面會發(fā)生各種物理化學變化，形成腐蝕、粗糙或致密的交聯(lián)層。 , 或引入含氧極性基團提高親水性、粘附性、生物相容性和電性能。

等離子體清洗機處理時的實驗現(xiàn)象

等離子設備的優(yōu)點是產品表面清潔、表面改性和產品性能提高的特性。。等離子表面墊圈的側壁蝕刻：等離子表面清洗機中的側壁蝕刻通常使用四氟化碳 (CF4) 作為主要蝕刻步驟的氣體。主要的蝕刻步驟是蝕刻掉氮化硅薄膜表面和氮化硅薄膜厚度的大部分自然氧化層。通過調節(jié)刻蝕室的壓力和功率，等離子體刻蝕的各向異性可以控制主刻蝕步驟的各向異性刻蝕，形成側墻。但是，主刻蝕步驟對底部的氮化硅和氧化硅沒有選擇比，如果不加控制，會損壞底部的體硅襯底。

在其他方面的應用：等離子體清洗技術在航空制造業(yè)當中還可以有更多的應用場合，等離子體刻蝕的各向異性例如：1、門窗密封件的處理，提高密封性能；2、儀表板涂覆前的處理，防止掉漆等現(xiàn)象；3、控制面板在粘合前的處理，增加粘結強度；4、精密零件的清洗，清除機械加工之后其表面所殘留的油類污染物。等離子體清洗可以處理各種材料，容易采用數(shù)控技術，自動化程度高，具有高精度的控制裝置，處理效果可控，使成品率大幅度提高，但成本卻反而降低。