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低溫大氣射頻輝光等離子體系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域平面顯示器LCD、LTPS、OLED等設(shè)備的預(yù)連接工藝,用于清洗各種基板的玻璃表面。不需要真空排氣。均勻的大氣壓等離子體用于阻止表面清潔過程,不會產(chǎn)生電流或電弧、大氣壓等離子體問題和對基板的損壞。此外,多元電極與傳統(tǒng)的大氣壓等離子體技術(shù)相比,比較容易擴展,因此可以從第 1 代小型基板到第 10 代大型基板擴展 3000 毫米。

無意中接觸到等離子放電區(qū)域,會產(chǎn)生“針刺”感,但不會出現(xiàn)危機人身安全的問題。我們通常會將放電區(qū)域屏蔽起來,做到物理隔離。所以不會產(chǎn)生危險。。解讀 關(guān)于plasma清洗設(shè)備表層工藝處理性能:plasma清洗設(shè)備可以和各種不同的后續(xù)制作工藝相配合,其中為典型的后續(xù)加工包括包裝印刷,粘合,噴涂。

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