具體分類如下:分類高溫等離子體低溫等離子體熱等離子體冷等離子體溫度范圍10^6~10^8K10^3~10^5K10^2~10^5K熱力學性質(zhì)熱力學平衡局部熱力學平衡非熱力學平衡應用范圍太陽上等離子體電弧等離子體輝光放電受控熱核聚變高頻等離子體電暈放電。plasma等離子發(fā)生器廣泛應用于刻蝕、脫膠、涂層、灰度、等離子外表處理。
由于低氣壓等離子體為冷等離子體,冷等離子和銀離子的區(qū)別當氣壓為 133~13.3帕左右時,電子溫度高達 00開,而氣體溫度只有300開,既不致燒壞基體,又有足夠能量進行表面處理。 低氣壓等離子體發(fā)生器已日益廣泛應用于等離子體聚合、制備薄膜、刻蝕、清洗等表面處理工藝中。等離子體發(fā)生器成功的例子如:在半導體制作工藝中,采用氟里昂等離子體干腐蝕,用離子鍍法在金屬表面生成氮化鈦膜等。
1)等離子對原材料表面的干燥效果蝕刻效率-物理效率冷等離子體中的大量離子、激發(fā)分子、自由基和許多其他特定粒子可以應用于固體樣品的表面。除了去除表面原有的污染物和雜質(zhì)殘留外,冷等離子體溫度還會產(chǎn)生干蝕刻效應,使樣品表面變得不光滑,產(chǎn)生許多細小凹坑,使樣品的比表面積減小。 .提高固體表面層的附著力。
等離子體中存在的離子的溫度用Ti表示,冷等離子活化水電子的溫度用Te表示,原子、分子或原子團等中性粒子的溫度用Tn表示。如果Te遠高于Ti或Tn,也就是低壓氣體,此時氣體的壓力只有幾百帕斯卡,容易加速,然后高能。獲得幾個電子伏特的平均值。在電子的情況下,這個能量對應的溫度是幾萬千度,溫度很小,因為離子質(zhì)量大,不容易被電場加速?;ㄙM數(shù)千。這種等離子體被稱為冷等離子體,因為氣體粒子是冷的(低溫特性)。
冷等離子體溫度
就等離子體處理時間而言,等離子體處理后的聚合物表面的交聯(lián)、化學改性和蝕刻主要是由于等離子體裂解聚合物表面分子的鍵并產(chǎn)生大量自由基。實驗表明,隨著等離子體處理時間的增加和放電功率的增加,產(chǎn)生的自由基的強度增加,達到一個很大的點,然后進入動態(tài)平衡。在某些條件下,冷等離子體與聚合物表面發(fā)生深度反應。等離子表面處理后,材料本身的性質(zhì)、處理后的二次污染、化學反應等可能是原因,處理后表面會保留多久并不容易。
冷等離子技術(shù)很好地解決了上述矛盾。無需對產(chǎn)品表面進行拋光或凹陷處理。此外,如果條件允許,還可以使用低成本的粘合劑,有效解決了傳統(tǒng)的文件夾涂膠工藝。 ..一些主要問題:一是紙屑和毛料對環(huán)境和設(shè)備的影響;二是打磨影響工作效率;三是產(chǎn)品上膠;四是上膠成本高。如您所知,層壓制品粘合的最大障礙是被粘合薄膜的表面達因值非常低。加工方式主要是電暈加工和靜電加工,電暈加工能力為電暈加工。
濕法不允許親水基團以化學鍵合狀態(tài)固定在隔膜材料的表面上,導致壽命較短。等離子體體的表面改性主要是通過在亞克力電池隔膜表面引入功能性親水基團或沉積親水聚合物薄膜來提高亞克力電池隔膜的吸堿性能。 .目前,大多數(shù)使用冷等離子放電進行直接清潔。然而,傳統(tǒng)的低溫等離子放電直接清洗方法存在離子濃度低、清洗效率低、表面污染和熱應力低等缺點,應用范圍有限。
低溫等離子表面處理機技術(shù)形成裝置及影響因素低溫等離子表面處理機選擇適宜的放電方式可獲得不同性質(zhì)和應用特點的等離子體,通常,熱等離子體是氣體在大氣壓下電暈放電產(chǎn)生,冷等離子體由低壓氣體輝光放電形成? 熱等離子體裝置[4]是利用帶電體尖端(如刀狀或針狀尖端和狹縫式電極)造成不均勻電場,稱電暈放電,使用電壓和頻率?電極間距?處理溫度和時間對電暈處理效果都有影響?電壓升高?電源頻率增大,則處理強度大,處理效果好?但電源頻率過高或電極間隙太寬,會引起電極間過多的離子碰撞,造成不必要的能量損耗;而電極間距太小,會有感應損失,也有能量損耗?處理溫度較高時,表面特性的變化較快?處理時間延長,極性基團會增多;但時間過長,表面則可能產(chǎn)生分解物,形成新的弱界面層? 冷等離子體裝置[5]是在密封容器中設(shè)置兩個電極形成電場,用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這時會發(fā)出輝光,故稱為輝光放電處理?輝光放電時的氣壓大小對材料處理效果有很大影響,另外與放電功率,氣體成分及流動速度?材料類型等因素有關(guān)?不同的放電方式?工作物質(zhì)狀態(tài)及上述影響等離子體產(chǎn)生的因素,相互組合可形成各種低溫等離子體處理設(shè)備?。
冷等離子和銀離子的區(qū)別
第一步是用氧氣氧化反應表面層5分鐘,冷等離子體溫度第二步是用氫氣和氬氣的混合物去除氧化反應層。也可同時處理多種混合氣體。 3.等離子清洗機電焊接一般來說,印刷電路板在焊接前應使用有機化學焊劑進行處理。電焊結(jié)束后,這些化合物需要用冷等離子體去除。否則更容易出現(xiàn)腐蝕等問題。四。等離子清潔器引線鍵合良好的引線鍵合通常會因電鍍、鍵合和電焊操作的殘留物而減弱。這些可以通過冷等離子體進行篩選和去除。
與化學滅菌方法相比,冷等離子活化水它具有低溫的優(yōu)點,可適用于各種物品和材料。特別是在關(guān)閉電源后,某些各種顆粒物在幾秒鐘內(nèi)迅速消失,無需特殊通風,對操作者無傷害。它更安全、更可靠、更有價值。廣泛推廣。等離子表面處理設(shè)備電離率低,電子溫度遠高于離子溫度,離子溫度可與室溫相同。因此,冷等離子體是一種非熱平衡等離子體。冷等離子體富含特定粒子,這些粒子比普通化學物質(zhì)更具體、更具體、更可能發(fā)生相互作用。