通過對物體表面進行等離子轟擊,可以達到對物體表面的蝕刻,活化,清洗等目的??梢燥@著加強這些表面的粘性及焊接強度,等離子表面處理系統(tǒng)現(xiàn)正應(yīng)用于LCD、LED、IC、PGB,引線框架,平板顯示器的清洗和蝕刻。
電子、航空、健康等行業(yè),可靠性都依靠于兩個表面之間的粘結(jié)強度。不管表面是金屬、陶瓷、聚合物、塑料或是其中的復(fù)合物,等離子體都有潛能改進粘著力,提高產(chǎn)品質(zhì)量。等離子清洗機處理產(chǎn)品表面是節(jié)能的、環(huán)保的、經(jīng)濟的。
根據(jù)用途的不同,可選用多種構(gòu)造的等離子清洗設(shè)備,并可通過選用不用種類的氣體,調(diào)整裝置的基本結(jié)構(gòu)大致是相同的,一般裝置可由真空室、真空泵、高頻電源、電擊、氣體導(dǎo)入系統(tǒng)、工作傳送系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等部分組成。一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘。清洗完畢后切斷高頻電壓,并將氣體及汽化的污垢排出,同時向真空室內(nèi)鼓入氣體,并使氣壓升至一個大氣壓。
給一組電極通上射頻電源,電極之間形成高頻交變電場,區(qū)域內(nèi)氣體在交變電場的激蕩下,形成等離子體,活性等離子對物體表面進行物理轟擊與化學反應(yīng)雙重作用,使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì),經(jīng)過抽真空排出,而達到表面處理的目的。24582